На поверхні плити для літографії навіть напівградусний зсув температури під час процедури „м’якого випалювання“ фотополімеру достатній, щоб критичні розміри змінилися на кілька нанометрів. Такий зсув призводить до необхідності повторної обробки продукції, утворення браку та неможливості дотримання встановлених параметрів. Ми створили спеціальні лампи для нагріву фотополімеру, які забезпечують передбачувану температурну поведінку протягом усього процесу.
Що є важливим?
Ми використовуємо випромінювачі короткочастотного інфрачервоного світла, які швидко та ефективно нагрівають фотополімер. Рівень температури залишається стабільним в діапазоні від 50°C до 250°C. Єдність температури по всій поверхні плити становить ±0,1°C, а повторюваність – ±0,5°C між окремими партіями продукції. Лампи сумісні з умовами чистих приміщень класу від 1 до 100; матеріали та пристрої, які використовуються, розроблені так, щоб мінімізувати виділення газів та утворення частинок. Температура вимірюється та фіксується в реальному часі, що дозволяє пов’язати кожен цикл обробки з кінцевим результатом, маючи точні дані.
Чому це ефективно на виробництві?
Лампа охоплює всі ключові етапи теплової обробки – сушіння плити, „м’яке“ та „жорстке“ випалювання фотополімеру – без перевищення допустимих температур. Процес нагрівання відбувається швидко, тож час циклу скорочується, при цьому не відбувається перевищення критичної температури фотополімеру. Вузький спектральний діапазон випромінювання дозволяє зменшити нагрів основи плити, що захищає шари, які знаходяться під нею. У результаті менше дефектів, менше браку, а також можливий контроль за розмірами, профілем та кількістю залишкових розчинників. Витрати на енергію зменшуються, оскільки тепло йде на нагрів самого фотополімеру, а не на пристрої чи приміщення.
Кілька практичних аспектів
Інтенсивність випромінювання NIR зменшується зі зростанням відстані, тож відстань між лампою та плитою мусить бути фіксованою та точно контрольованою. Перед кожним циклом обробки необхідно провести коротку процедуру розігріву та калібрування. Матеріал, з якого виготовлений пристрій для кріплення плити, та геометрія відбивача повинні відповідати температурним характеристикам лампи. Інтеграція лампи в існуючу систему є простою, але необхідно правильно спланувати час її встановлення та підключення необхідних комунікацій.