Op de lithografieafdeling is het ‘bake-proces’ geen soort opwarmproces; het bepaalt juist de structuur van de fotorezerve. Een afwijking van 2°C tijdens het zachte of harde bakken kan ertoe leiden dat de controle over de belangrijke afmetingen niet meer mogelijk is, en dat er onzuiverheden op het oppervlak van de wafer ontstaan. De lamp die wordt gebruikt voor het bakken heeft één doel: de procestemperatuur constant houden, minuut na minuut.
Wat belangrijk is onder de motorkap
Wij kiezen voor halogeenemissoren met kortegolf-infraroodlicht, die zich bevinden in een kwartsomhulsel. Ze reageren snel en blijven stabiel. Hierdoor wordt de thermische uniformiteit op het niveau van de wafer behouden, binnen een marge van ±0,1°C. Bovendien zorgt dit voor een nauwkeurige temperatuurcontrole tijdens het bakken, waardoor het thermische evenwicht behouden blijft.
De compatibiliteit met cleanrooms van klasse 1–100 is al vanaf het begin in het ontwerp opgenomen: er worden materialen gebruikt die weinig gassen afgeven, en er wordt gezorgd voor een omgeving waarin er geen deeltjes vrijkomen. Nul deeltjesproductie is geen slogan – het is de standaard.
Het systeem kan 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstanden. De herhaalbaarheid wordt bereikt door middel van een gesloten controlecyclus, die rekening houdt met schommelingen in de spanning en het verouderingsproces van de lampen.
Waarom het systeem in de productie werkt
Het bakproces moet worden aangepast aan de vereisten van het proces, en niet andersom. De lamp zorgt ervoor dat de temperatuur in de bakzone constant blijft, zodat zowel het zachte als het harde bakken effectief kunnen werken. Het resultaat is een hogere opbrengst en minder afval.
De energieverbruik neemt af, omdat de reactietijd kort is en de duur van het bakproces beperkt is. Ook wordt er minder onderhoud nodig, omdat er minder lampen vervangen hoeven te worden. Zodra de temperatuur geen probleem meer vormt, wordt het proces efficiënter.
Wat je in gedachten moet houden
Bij de installatie moet worden gelet op de mechanische interfaces en bedieningssignalen van de spincoater. De reparatiekits verschillen per platform en connectortype.
De lamp is gevoelig voor de koelingsluchtstroom en de temperatuurverschillen. Houd de luchtwegen zoals voorgeschreven en maak het kwarts regelmatig schoon. Na het vervangen van de lamp moet deze eerst even worden opgewarmd voordat de juiste bakcurve kan worden vastgesteld.