Op de productielijn is een temperatuurstijging van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist al voldoende om veel producten te beschadigen. Je hebt een betrouwbare warmtebron nodig, geen gokwerk. We hebben een verwarmingslamp ontwikkeld die compatibel is met TEL-standaarden. De lamp werkt optimaal en biedt een nauwkeurige temperatuurcontrole, zelfs wanneer de procesparameters worden gemeten in nanometers.
Wat zit er achter de schermen? We gebruiken kortegolflange infraroodelementen en hoogzuivere kwartscomponenten. Hierdoor wordt er snel gereageerd, zonder dat er extra ruis in het proces komt. Over het hele oppervlak van de lamp blijft de temperatuur binnen ±0,1°C – ideaal voor zowel zachte als harde verhittingsprocessen, waarbij nauwe controle over de temperatuur belangrijk is.
De uitgangsintensiteit blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in intensiteit. De lamp werkt op standaardspanning en past in gewone lampmodules. Bovendien voldoet de lamp aan de eisen van schone werkruimtes van klasse 1–100.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie Bij lithografie bepaalt de verhittingstemperatuur de kwaliteit van het product en de dichtheid van de defecten. Deze lamp zorgt ervoor dat de thermische parameters consistent zijn tussen verschillende batches. Dit verminderd het aantal herwerkingen en zorgt voor een hogere opbrengst. De efficiëntie komt voort uit een goede infraroodkoppeling en lage verliezen tijdens het wachten. De lange levensduur van de lamp bespaart op voorraad en onderhoudskosten. Het resultaat is betrouwbare productieprocessen, minder stilstanden en een consistente werking van de fotoresist.
Wat je moet doen om het goed te doen Voor de installatie moet je eerst de mechanische eigenschappen en verbindingen van de lampmodule overeen laten komen met die van de oorspronkelijke lamp. Vervolgens moet je de optische route zo instellen dat de uniformiteit behouden blijft. De lamp is geschikt voor specifieke TEL-platformen. Maar voordat je de lamp installeert, moet je eerst controleren of de geometrie van de kamer en de besturingssoftware compatibel zijn.