Op de lithografieafdeling is zelfs een afwijking van een halve graad tijdens het zacht bakken voldoende om de cruciale dimensies met nanometers te veranderen. Zulke afwijkingen leiden tot herwerking, afval en fouten die niet kunnen worden voorkomen. We hebben onze lampen speciaal ontworpen zodat het thermische gedrag op elke productieronde consistent blijft.
Wat er echt toe doet Wij gebruiken kortegolf-infraroodemitters die de fotoresist direct en snel opwarmen. De temperatuur blijft stabiel tussen 50°C en 250°C. Over het hele oppervlak van de siliciumplaat is de uniformiteit binnen ±0,1°C, en de herhaalbaarheid tussen loten binnen ±0,5°C. De lampen zijn compatibel met ruimtes van klasse 1 tot 100. De gebruikte onderdelen en materialen zorgen voor minimale uitzetting en geen vorming van deeltjes. De temperatuur wordt in real time gemeten en opgeslagen, zodat je alle gegevens kunt gebruiken om de kwaliteit van het product te bepalen.
Waarom het werkt in de praktijk De lamp zorgt voor de essentiële thermische processen – drogen van de siliciumplaat, zacht bakken van de fotoresist en hard bakken/curing – zonder dat de thermische balans verstoord wordt. Het opwarmproces verloopt snel, waardoor de productietijd缩短t, zonder dat de fotoresist beschadigd raakt. De smalle spectrale respons zorgt ervoor dat de hitte zich beperkt tot de fotoresist, waardoor de onderliggende lagen beschermd blijven. Hierdoor zijn er minder defecten en afval, en kan men de kwaliteit van het product nauwkeurig controleren. De energieverbruik neemt af, omdat de hitte alleen in de fotoresist terechtkomt, en niet in de apparatuur of de ruimte zelf.
Een paar praktische aspecten De intensiteit van het NIR-licht neemt af naarmate de afstand toeneemt. Daarom moet de afstand tussen de lamp en de siliciumplaat constant blijven. Er is dus sprake van een korte opwarm- en kalibratietijd per productieronde. Zorg ervoor dat het materiaal van de chucks en de geometrie van de reflectoren overeenkomen met het thermische profiel van de lamp. Het integreren van de lampen in bestaande systemen is eenvoudig, maar plan wel tijd in voor de aanpassingen aan de mechanische onderdelen en koelmiddelinstallaties.