化学処理を行う際には、ウェハーを安全に保つことが重要です。ウェハーの硬化には多くの熱が必要ですが、そのランプを化学洗浄ステーションのすぐ近くに置くと問題が生じます。揮発性の蒸気が至る所に漂い、火花が発生して作業場が火災になってしまう可能性があります。
だからこそ、密封や反射機能を重視するのです。これは単に熱を抑えるためだけではなく、熱が正しい場所に留まるようにするためでもあります。
危険を防ぐために
可燃性の洗剤がある部屋でランプを使うのは、まさに災害の元です。私たちはそのようなリスクは冒しません。
代わりに、電気端子を空気から完全に隔離するために密閉構造を利用します。接続点をケースに封じ込め、腐食性の蒸気にも耐えられるガスケットを使用します。これにより、化学物質が絶縁体を侵食したり、短絡を引き起こしたりするのを防ぎます。
ちょっとしたコツとして、筐体が接地されているか確認してください。静電気の蓄積は、このような環境では致命的なので、このステップを怠ってはいけません。
熱を適切な場所に送る
十分な反射器がないと、エネルギーの半分が無駄になってしまいます。
私たちは高純度のアルミニウムや金メッキされた反射器を使用して、短波長の赤外線をウェハーに直接当てます。そうすることで、熱が直接ウェハーに伝わり、筐体の他の部分が過熱するのを防ぎます。
反射器の状態も注意深く見てください。もし反射器に傷がついたり、位置がずれたりすると、ウェハーに「冷却不足の部分」ができ、硬化処理が不均一になってしまいます。
熱と安全のトレードオフ
問題は、高強度のランプは非常に高温になるということです。
密封によって爆発を防げますが、同時にランプの周囲に熱が溜まってしまいます。ただ放っておくわけにはいきません。適切な冷却ファンや液体冷却装置を使って、その熱を外部に排出する必要があります。
放置しておくと、密封部分が劣化し、安全性が低下してしまいます。私は6ヶ月ごとに密封部分を確認することを勧めます。数分しかかかりませんが、システムの故障や1週間の停止を避けることができます。