なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） ウェーハの加熱処理を行う際には、ミスの余地は一切ありません。わずかな電気アークや絶縁不良があるだけで、ランプが壊れるだけでなく、一括りのシリコン製品全体が台無しになってしまいます。これは、誰もが避けたい悪夢です。 そのため、私たちは「抜き取り検査」や「サンプル検査」を行いません。工場を出るすべてのランプを必ずテストします。それが原則です。
高電圧の現実 高電圧を利用した加熱素子は、厳しい環境にさらされます。継続的な加熱と冷却によって熱応力が生じ、それが原因で石英に微細な亀裂が入ったり、電極の接着部分が弱くなったりします。もし絶縁体が破損してしまうと、電流が直接機械の筐体に流れ込んでしまいます。 これを防ぐために、私たちはヒポットテストを行います。つまり、通常の動作電圧をはるかに超える電圧をかけてみるのです。もし隠れた欠陥があれば、それは私たちのラボ内で発見されるべきです。お客様のクリーンルームではないのです。
「十分だ」と思うことの問題点 多くの業者は、一括りの製品の中から数個だけをテストして、残りは問題ないと判断してしまいます。しかし、高性能な半導体装置を使う場合、「おそらく大丈夫」というのでは不十分です。 すべての製品をテストすることで、絶縁抵抗が適切な値になっているかを確認できます。そうすることで、GFCIが不要に作動するのを防ぎ、サージによってPLCボードが壊れるのも防げます。これは安心感を得るためです。
妥協点 正直なところ、このように厳格にチェックすると、生産速度が遅くなります。より多くの時間と労力が必要になります。納期に影響が出るかもしれませんが、停工期間を短縮することで、その分を補うことができます。 ただし、念のために言っておきますが、私たちのランプは信頼性が高いですが、悪い配線を修復することはできません。コネクタのハウジングが汚れていたり、汚染されていたりすると、依然として問題が発生する可能性があります。必ず接地が規格通りに行われているようにしてください。そうすれば、私たちのランプが正常に機能します。 テスト結果の報告書を送りますので、ご自身で確認してください。故障しない、問題のないランプが届きます。