クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行う際、加熱はかなり難しい問題です。単に物を温めるだけではなく、うっかり微粒子を作業エリアに放出しないようにする必要があります。
一般的な加熱素子は危険です。それらはガスを放出し、微細な粒子を飛ばします。これは大きな問題を引き起こす可能性があります。そのため、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。これにより、オゾンや有害な揮発性有機化合物(VOC)の影響を受けずに、必要な熱を得ることができます。
オゾンの問題点
多くの短波長の赤外線ランプには、空気中の酸素分子を分解する力があるという問題があります。その結果、オゾンが生成されます。
無菌室では、オゾンは腐食性物質として作用し、敏感な部品を損傷させ、高価なウェーハやレンズのコーティングを破壊します。これを防ぐため、私たちはフィラメントや石英製のケースを改良し、スペクトル出力を調整しました。つまり、エネルギーが直接ワークピースに届くようにしています。空気と反応することはありません。
内部構造
私たちは高純度の融成石英を使用しています。これは非常に丈夫で、極端な温度変化にも耐えられ、時間が経っても結晶化しません。また、シール部分も真空密閉型にして、何も漏れ出ないようにしています。そして、 dust-freeゾーンであることを考慮して、接着剤やコーティングは一切使っていません。接着剤がないため、何も剥がれ落ちることはありません。これにより、最高温度でも安定した状態を維持できます。
注意すべき点
もちろん、トレードオフもあります。高純度の石英は清潔さの観点からは最適ですが、通常のボロシリケートガラスよりももろいです。**絶対に素手でこのチューブに触れないでください。**皮膚から出る油分が熱源となり、チューブが割れてしまいます。
安全を確保するためには、真空対応の固定具を使用しましょう。
最後に、高密度加熱のために最大出力で使用する場合は、HVACシステムにも注意が必要です。部屋に大量の熱が入るため、室温が変動してしまう可能性があります。