半導体製造工程におけるチューブの破損について心配する必要はありません。正直に言えば、大量生産時に赤外線ランプが破損してしまうと、それは大変な問題です。機械が停止するだけでなく、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに付着してしまいます。わずかなひび割れでも、生産効率を台無しにしてしまいます。だからこそ、私たちはこのようなシステムを開発したのです。
汚染を防ぐ 高純度の融成石英を使用しているのは、急激な加熱・冷却にも耐えられるからです。しかし、単にガラス自体に頼っているわけではありません。ランプを保護用のカバーで覆っています。これはまるでセーフネットのようなものです。もしチューブが破損しても、カバーが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハが汚染されることはなく、一部の部品が壊れただけで全量のウェーハを廃棄する必要もありません。
熱を管理する 高ワット数のランプは非常に高温になります。もしチューブの一部が過熱してしまうと、破損するのは時間の問題です。それを防ぐために、フィラメントの許容範囲を厳しく設定し、電極部分のシールを強化してガスが漏れ出ないようにしています。注意すべき点は冷却システムです。空気の流れが悪くなると、ハウジングが過熱し、石英が不安定になります。つまり、より多くの熱を扱う場合は、より効果的な冷却が必要です。
クリーンルーム向けに設計されている 組み立てに使われる材料には細心の注意を払っています。接着剤は使用せず、高温になるとガスが発生するような材料も使いません。また、アーク放電を防ぐために、コネクタも特別に選んでいます。アーク放電は局部が過熱し、チューブが破損する原因になります。石英の物理的な特性や熱許容範囲に焦点を当てることで、リスクを最小限に抑えています。そうすれば、安定した加熱が実現し、ウェーハも安全に保たれます。