MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

機械の加熱をやめて、ウェーハの乾燥に力を入れましょう。 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェーハを乾燥させるのがどれほど難しいかご存知でしょう。常に残留物と戦っているのです。 従来の方法である通常の対流式オーブンを使うのは非効率的です。結局、チャンバー全体が加熱されてしまいます。これはエ...