در کارخانههای تولید، پایداری دما چیزی نیست که بتوان آن را فقط به عنوان یک ویژگی مطلوب در نظر گرفت؛ بلکه خودش بخشی از فرآیند تولید است. در فرآیندهای خشک کردن ویفرها و کار با فتورزیست، حتی تغییرات جزئی در دما میتواند منجر به تغییرات در ابعاد کلیدی، باقی ماندن باقیماندههای شیمیایی، یا ایجاد نقصهای سطحی شود. ما سیستمهای گرمایشی مناسبی را طراحی کردهایم تا دما را در همان نقطهای که سابسترات با فرآیند تولید در تماس است، تحت کنترل نگه دارد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ ما از بدنههای گرمایشی کوچک، موجهای مادون قرمز کوتاه، و سیستمهای کنترل سریع برای دستیابی به یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد استفاده میکنیم. طراحی حرارتی این سیستم، اثرات منفی ناشی از نقاط سرد را کاهش میدهد و باعث میشود که یکنواختی دما در تمام دورههای تولید حفظ شود؛ چیزی که در شرایطی که بازه زمانی تولید محدود است، بسیار مهم است. عمر این سیستم بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت است؛ همچنین مواد و اتصالات مورد استفاده، باعث کاهش تولید ذرات ناخواسته میشوند؛ بنابراین این سیستم میتواند در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ به خوبی کار کند.
چرا این سیستم در محل استفاده، مؤثر است؟ این سیستم را میتوان در همان فرآیندهای خشک کردن ویفرها و فرآیندهای تولید فتورزیست استفاده کرد. این سیستم، اتصالات بین صفحات و محفظههای تولید را پایدار میکند؛ بنابراین میتوانید دمای مورد نظر را سریعتر به دست آورید و آن را بدون اختلال حفظ کنید. نتیجه این کار، کنترل بهتر ابعاد کلیدی، کاهش تعداد ویفرهای نیاز به تعمیر، و بهرهوری بالاتر است. همچنین، با جلوگیری از لزوم بازیابی مداوم دما، انرژی نیز صرفهجویی میشود؛ همچنین، توقفات غیرمنتظره نیز کاهش مییابد، زیرا این سیستم باعث آلودگی یا تغییرات ناخواسته در دما نمیشود.
جزئیات عملی این سیستم چیست؟ این سیستم میتواند در ماژولهای کرایوژنیکی و حرارتی موجود نصب شود؛ اما سطح نصب باید صاف و تمیز باشد. یکنواختی دما بستگی به فشار اتصالات و کیفیت اتصالات حرارتی دارد. برنامههای کالیبراسیون را باید متناسب با برنامههای نگهداری پیشگیرانه تنظیم کرد؛ همچنین، قبل از استفاده از این سیستم، باید سازگاری آن با کنترلرهای موجود را بررسی کرد.