در کارخانههای تولید نیمههادی، تغییر دما در فرهای پخت نرم، حتی به میزان ۱ درجه سانتیگراد، میتواند تأثیر منفی بر کیفیت محصول داشته باشد. خشک کردن ویفرها، پیشپخت رزیستهای فوتوگرافی و فرآیندهای پس از قرار گرفتن در معرض نور، همگی نیازمند کنترل دقیق دما هستند؛ به همین دلیل است که ما خطوط گرمایشی خود را در چین طراحی کردهایم: تا گرمکنهای موج کوتاه IR را تولید کنیم که برای کنترل فرآیندهای نیمههادی مناسب باشند، نه برای استفاده در بروشورهای تبلیغاتی.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ماژولهای IR ما، یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد تضمین میکنند؛ همچنین، قابلیت تکرار دما نیز در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد است. سرعت بالای گرم شدن، باعث کاهش تغییرات دمایی میشود؛ همچنین، عدم تولید ذرات، باعث حفظ ثبات تعداد ذرات در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ میشود. عناصر کوارتز-هالوژن، خروجی طیفی پایداری را فراهم میکنند؛ بنابراین جذب نور توسط رزیستهای فوتوگرافی نیز یکنواخت باقی میماند. همچنین، بدنه گرمکن با محیطهای خلأ و گازهای خنثی سازگار است. ما تراکم انرژی را بر اساس جرم حرارتی سوبسترات تنظیم میکنیم؛ نه بر اساس بدنه گرمکن. بنابراین، فرآیند تولید، دمای واقعی را دریافت میکند، نه دمای مربوط به خود گرمکن.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
در دستگاههای لیتوگرافی، دمای فر پخت نرم، مستقیماً بر چسبندگی رزیستهای فوتوگرافی و ضخامت لایههای تولید شده تأثیر میگذارد. روش IR ما، این پارامترها را در محدوده استاندارد نگه میدارد؛ این امر باعث کاهش تغییرات در کیفیت محصول میشود. برای خشک کردن ویفرها پس از شستشو، گرمایش سریع و یکنواخت، از فروپاشی الگوهای تولید شده جلوگیری میکند. همچنین، از آنجایی که IR ویفر را مستقیماً گرم میکند، مصرف انرژی کاهش مییابد. این دستگاهها میتوانند ۲۴ ساعته و بدون نیاز به تعمیرات زیاد کار کنند؛ دادههای میدانی نشان میدهد که این دستگاهها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کمتر از ۵٪ تغییر در خروجی آنها رخ دهد.
چه چیزهایی باید در نظر بگیرید؟
این گرمکنها نیاز به منبع انرژی مجزا و دقیق، همچنین تنظیمات دقیق برای هر لایه فرآیندی دارند. قرار دادن آنها در فرهای قدیمی کار سادهای است، اما هرگونه تغییر در جرم حرارتی ممکن است نیاز به تنظیمات دقیق برای رسیدن به منحنی گرمایش مناسب داشته باشد. پیش از شروع تولید، باید ۱۰۰ ساعت کار با این دستگاهها انجام شود و اندازهگیریهای لازم نیز صورت گیرد.