در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتیگراد در طول فرآیند پختن فوتورزیست، میتواند باعث از بین رفتن کل محصولات تولید شده شود. بنابراین، نیاز به یک منبع گرمایی قابل اعتماد وجود دارد؛ نه چیزی که بتوان آن را تخمین زد. ما لامپ گرمایشی سازگار با استانداردهای TEL را ساختهایم؛ این لامپ به خوبی کار میکند و کنترل دمایی دقیقی دارد، حتی زمانی که فاصلههای مربوط به فرآیند در مقیاس نانومتر اندازهگیری میشوند.
ویژگیهای این لامپ
ما از عناصر مادون قرمز با طول موج کوتاه و مواد کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این امر باعث میشود پاسخدهی سریعی داشته باشیم، بدون اینکه نویزی به فرآیند اضافه شود. در سطح سطح پخت، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ این موضوع برای فرآیندهای پخت نرم و سخت مناسب است.
خروجی این لامپ در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کاری، پایدار باقی میماند؛ کاهش شدت نور آن کمتر از ۵٪ است. این لامپ با پتانسیلهای ولتاژی استاندارد کار میکند، با ماژولهای لامپ معمولی سازگار است، و عملکرد آن مطابق با الزامات اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ است.
چرا این موضوع در لیتوگرافی مهم است؟
در لیتوگرافی، دمای پخت تأثیر زیادی بر کنترل کیفیت و تراکم نقصها دارد. این لامپ، پروفایل حرارتی را در هر بار تولید یکسان نگه میدارد؛ این امر باعث کاهش کارهای تکراری و افزایش بازدهی تولید میشود. کارایی این لامپ ناشی از اتصال مؤثر مادون قرمز و کاهش اتلافات در حالت استندبای است؛ همچنین، عمر طولانی این لامپ باعث کاهش نیاز به ذخیره سیلبر و خدمات تعمیراتی میشود. نتیجه، فرآیندهای تولید پیشبینیپذیر، کمتر شدن توقفات فرآیند، و عملکرد قابل اعتماد فوتورزیست خواهد بود.
چه کارهایی باید انجام دهید؟
برای نصب این لامپ، باید ساختار مکانیکی و پینهای اتصال آن را با ماژول لامپ اصلی هماهنگ کرد؛ سپس مسیر نوری را طوری تنظیم کرد که یکنواختی دما حفظ شود. این لامپ برای پلتفرمهای TEL مورد تأیید قرار گرفته است؛ اما قبل از جایگزینی آن، باید هندسه اتاق و فرمورمهای کنترلی را بررسی کرد تا سازگاری کامل برقرار شود.