Sicherstellen, dass alles sicher bleibt, wenn man Wafer in chemischen Bereichen behandelt
Die Behandlung von Wafern erfordert viel Wärme. Doch wenn man die Lampen direkt neben den Stationen zur chemischen Reinigung platziert, entsteht ein Problem: Flüchtige Dämpfe sind überall – und das Letzte, was man wollen kann, ist, dass eine Funke den Arbeitsbereich in eine Feuerkugel verwandelt.
Deshalb legen wir großen Wert auf eine gute Abdichtung sowie auf effektives Reflektieren der Wärme. Es geht nicht nur um die Wärme selbst, sondern auch darum, sicherzustellen, dass die Wärme genau da bleibt, wo sie hingehört.
Das Risiko ausschließen
Eine Lampe, die in einem Raum mit brennbaren Reinigungsmitteln steht, ist im Grunde genommen eine Katastrophe in waiting. Wir gehen dieses Risiko nicht ein. Stattdessen verwenden wir hermetische Abdichtungen, um die Elektroterminals vollständig von der Luft abzuschirmen. Die Anschlusspunkte werden besonders geschützt, und es werden Dichtungen verwendet, die auch bei Berührung mit korrosiven Dämpfen nicht beschädigt werden. So können die Chemikalien die Isolierung nicht zerstören oder einen Kurzschluss auslösen.
Ein Tipp: Stellen Sie sicher, dass das Gehäuse geerdet ist. Statische Aufladungen sind in solchen Bereichen besonders gefährlich – daher darf dieser Schritt nicht übersprungen werden.
Die Wärme genau dorthin leiten, wo sie benötigt wird
Ohne einen guten Reflektor geht die Hälfte der Energie einfach verloren. Wir verwenden hochreines Aluminium oder goldbeschichtete Reflektoren, damit die kurzwelligen Infrarotstrahlen direkt auf die Wafer gerichtet werden. Dadurch wird die Wärmedichte genau dort konzentriert, wo sie benötigt wird – und der Rest des Gehäuses überhitzt nicht.
Achten Sie darauf, dass Ihre Reflektoren in Ordnung sind. Wenn sie beschädigt werden oder aus der richtigen Position geraten, entstehen „kalte Stellen“ auf den Wafern – und die Behandlung wird unpräzise.
Der Kompromiss: Wärme gegen Sicherheit
Hier liegt das Problem: Hochintensive Lampen werden extrem heiß. While die Abdichtung Explosionen verhindert, sammelt sie gleichzeitig die Wärme um den Lampenkopf herum. Man kann die Lampe nicht einfach so stehen lassen. Man muss geeignete Kühlventilatoren oder Flüssigkeitskühlsysteme verwenden, um die Wärme abzuführen. Wenn man das ignoriert, werden die Abdichtungen mit der Zeit beschädigt – und die Sicherheit ist nicht mehr gewährleistet. Ich empfehle immer, die Abdichtungen alle sechs Monate zu überprüfen. Das dauert nur wenige Minuten – aber es ist besser, als dass das gesamte System versagt und man eine Woche lang nicht arbeiten kann.