Kohlenstoffeinsparung in sauberen Räumen: Warum Infrarot-Heizmethoden tatsächlich funktionieren
Seien wir ehrlich: Saubere Räume sind Energiefresser. Wenn man weiterhin auf herkömmliche Konvektionsöfen setzt, zahlt man im Grunde Geld dafür, den ganzen Raum zu heizen – nur um ein paar Wafer auf die gewünschte Temperatur zu bringen. Das ist eine Verschwendung von Geld und belastet außerdem den Kohlenstofffußabdruck.
Deshalb setzen wir auf Infrarot-Heizlampen. Anstatt mit der Luft zu kämpfen, heizen diese Lampen direkt das Substrat. Das ist effizient und verhindert außerdem steigende Energiekosten.
Geschwindigkeit und Leistung
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Emitter – sie sind äußerst effektiv. Die gewünschte Temperatur wird bereits nach Sekunden erreicht, nicht erst nach Minuten. Da die Energie genau dorthin geleitet wird, wo sie benötigt wird, müssen keine Kilowattstunden stundenlang in den Raum geleitet werden. Dadurch wird der gesamte Arbeitsablauf schneller und effizienter.
Sauberkeit bewahren
In dieser Branche bedeutet schon ein einziger Staubkorn eine Katastrophe. Deshalb verwenden wir Hochreinkquarzkörper. Es kommt zu keinem Ausgasen, und es fallen keine Staubpartikel auf das Silizium. Zudem handelt es sich um austauschbare Komponenten. Wenn eine Lampe kaputt geht, kann man sie einfach mit Standardanschlüssen ersetzen und sofort weiterarbeiten. Keine langwierigen Reparaturen mehr.
Außerdem sorgen wir dafür, dass die Strahlung wieder in Richtung des Ziels reflektiert wird. Dadurch muss das Lüftungssystem nicht übermäßig arbeiten, um den Raum wieder abzukühlen.
Das Problem: Die Wärmebewirtschaftung
Infrarot-Heizung ist zwar kein Wundermittel – aber wenn man so viel Energie in einen kleinen Raum leitet, wird es dort sehr heiß. Wenn man die Kühlfans oder Wasserkühlsysteme nicht richtig einstellt, entstehen Probleme. Wir haben bereits gesehen, wie Halterungen verbogen wurden oder Systeme wegen mangelnder Belüftung abgeschaltet wurden.
Es geht dabei um das Gleichgewicht. Man erhält zwar eine enorme Heizgeschwindigkeit, aber man muss darauf achten, die Wärme vom Gerät wegzu-leiten. Wenn die Kühlung richtig funktioniert, ist alles einfach.