Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, stellt die Beheizung ein echtes Problem dar. Es geht nicht nur darum, die Raumtemperatur zu erhöhen – vielmehr muss man sicherstellen, dass keine Partikel versehentlich in den Arbeitsbereich gelangen.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente sind problematisch: Sie geben Gase ab und stellen kleine Stoffpartikel frei. Das ist eine Katastrophe, die jederzeit eintreten kann. Deshalb verwenden wir High-Purity-Synthetikquarz-Infrarotlampen. Diese liefern die benötigte Wärme, ohne dass Ozon oder schädliche flüchtige organische Verbindungen die Produktion beeinträchtigen.
Das Problem mit Ozon
Viele Kurzwellen-Infrarotlampen emittieren Energie, die dazu führt, dass Sauerstoffmoleküle in der Luft zerlegt werden. Dadurch entsteht Ozon. In einem sterilen Raum ist Ozon ein starkes Korrosionsmittel – es zerstört empfindliche Bauteile sowie teure Beschichtungen auf Wafern oder Linsen. Um das zu verhindern, haben wir die Fasern sowie die Quarzhüllen so angepasst, dass die ausgestrahlte Energie direkt auf das Werkstück trifft – sie reagiert nicht mit der Luft.
Was sich hinter den Kulissen abspielt
Wir verwenden hochreinen, gefügten Quarz. Er ist widerstandsfähig gegen extreme Temperaturschwankungen und kristallisiert im Laufe der Zeit nicht aus. Zudem sorgen wir dafür, dass alle Dichtungen vakuumdicht sind – dadurch kann nichts entweichen. Da wir wissen, dass man sich in einer staubfreien Zone befindet, haben wir alle Klebstoffe und Beschichtungen entfernt. Ohne Kleber kann nichts abplatzen. So bleibt der Rohrleitung stabil, auch bei höchsten Temperaturen.
Ein paar Dinge, auf die man achten sollte
Es gibt natürlich Kompromisse. Hochreiner Quarz ist zwar der Goldstandard für Reinheit, doch er ist brüchiger als gewöhnliches Borosilikatglas. Berühren Sie diese Rohrleitungen auf keinen Fall mit bloßen Händen. Die Öle in Ihrer Haut können dazu führen, dass die Rohrleitungen beschädigt werden. Verwenden Sie daher Vorrichtungen, die gegen Vakuum geeignet sind, um die Rohrleitungen sicher zu fixieren.
Noch ein Tipp: Wenn Sie die Lampen bei maximaler Leistung nutzen, achten Sie darauf, dass die Belüftungsanlage funktioniert. Sie bringen nämlich viel Wärme in den Raum – man möchte schließlich nicht, dass die Umgebungstemperatur zu stark ansteigt.