Makineyi ısıtmayı bırakın, yongaları kurutmaya başlayın. Eğer daha önce MEMS üretimi konusunda çalıştıysanız, yongaların nasıl kurutulduğunu...

Litografi katında, soft bake ile hard bake arasında çok az hareket alanı vardır. Yarım derece bile bir sapma, fotoresist kalınlığını değiştirebilir,...