วิธีป้องกันไม่ให้อุปกรณ์ที่ใช้กับวัสดุเคมีระเบิดขึ้นมาได้ พูดตามตรงเลยนะ: การนำสารเคมีที่ติดไฟง่ายมาผสมกับหลอดไฟอินฟราเรดนั้นเป็นสิ่งที่อันตรายมาก...

บนชั้นลิโธกราฟี การอบแบบ soft bake ไม่ใช่แค่การวอร์มอัพ แต่เป็นขั้นตอนที่กำหนดโปรไฟล์ตัวทำละลายของโฟโต้เรซิสต์ ล็อกความหนาของฟิล์ม...