Почему мы переходим на использование ультрапрочистых инфракрасных обогревателей в процессе производства полупроводников
В мире полупроводников происходит отказ от старых методов нагрева с использованием конвекционных печей. Сейчас наблюдается явный переход к использованию ультрапрочистых инфракрасных обогревателей. Это не просто тенденция рынка — это способ достижения строгих стандартов без использования свинца и других вредных веществ, при этом не тратя лишних затрат на электроэнергию.
Как это работает
Разумеется, нужно понимать, как функционирует обычная печь: сначала нагревается воздух, а затем он нагревает пластину. Этот процесс медленный и неэффективный.
Ультрапрочистые инфракрасные лампы работают иначе: они используют коротковолновое излучение для направленного нагрева поверхности пластины. Тепло не задерживается на стенах камеры, а напрямую попадает на объект нагрева.
Самое главное — можно уменьшить размер оборудования для сушки без снижения скорости процесса. Это значительно экономит пространство и снижает расходы на электроэнергию.
Борьба с загрязнением
В чистых комнатах главной проблемой является выделение вредных веществ в воздух. Даже небольшое количество загрязнителей может вызвать проблемы.
Поэтому мы используем синтетический кварц высокой чистоты и специальные галогенные добавки. Необходимо предотвратить попадание металлических примесей в окружающую среду. Эти лампы выдерживают высокие температуры без повреждения кварцевой оболочки, что обеспечивает чистый источник тепла, который не создает частиц на поверхности пластин.
Компромисс между скоростью и точностью
Ультрапрочистые лампы обеспечивают очень высокую скорость нагрева. Но за этой скоростью стоит определенный риск: из-за высокой концентрации энергии необходимо очень тщательно контролировать скорость перемещения пластин и расстояние до лампы. Если параметры управления не настроены правильно, это может привести к повреждению краев пластин. Чтобы добиться идеального результата, требуется точное настройка оборудования.
Очистка процесса
Процесс сушки с использованием инфракрасного излучения является безвоздушным. Это означает, что больше не нужно использовать химические растворители или катализаторы на основе свинца, которые ранее использовались в старых системах.
Используя ультрапрочистые инфракрасные лампы, мы можем полностью исключить использование таких токсичных веществ. Это самый простой способ добиться процесса сушки без выбросов.