На этапе литографии существует определенный алгоритм действий: даже небольшое смещение пластины на полградуса во время процедуры просушки может...

На литографическом участке мягкий отжиг — это не просто прогрев. Это этап, который задаёт профиль растворителя в фоторезисте, фиксирует толщину...