W hali produkcyjnej stabilność temperatury nie jest tylko dodatkowym atutem – to element kluczowy procesu produkcji. Podczas suszenia płytek krzemowych oraz obsługi fotorezystów nawet niewielka zmiana temperatury na poziomie kilku dziesiątych stopnia może wpłynąć na krytyczne wymiary płytki, spowodować powstanie pozostałości chemicznych lub uszkodzeń powierzchni płytki. Stworzyliśmy specjalne grzałki do systemów kriogenicznych, które zapewniają stabilną temperaturę dokładnie w miejscu, gdzie płyta krzemowa styka się z urządzeniami używanymi w procesie produkcji.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Kombinujemy kompaktową konstrukcję grzałki z promieniowaniem podczerwonym o krótkiej długości fali oraz szybkim sterowaniem, aby osiągnąć jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C. Taka konstrukcja eliminuje efekty związane z nierównomiernym rozpraszaniem ciepła i zapewnia wysoką powtarzalność wyników – co jest niezbędne, gdy okno czasowe dostępne do obróbki jest ograniczone. Wydajność grzałki pozostaje stała przez ponad 5 000 godzin pracy. Materiały i elementy montażowe zostały dobrane tak, aby minimalizować powstawanie cząstek, dzięki czemu grzałka nadaje się do używania w pomieszczeniach o standaryzowanej czystości klasy 1–100.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w praktyce? Można używać tej grzałki razem z urządzeniami do suszenia płytek krzemowych, procesami delikatnego i intensywnego odgrzewania fotorezystów. Dzięki temu uda się szybciej osiągnąć docelową temperaturę i utrzymać ją bez przekroczeń. Wynikiem jest lepsza kontrola krytycznych wymiarów płytek, mniej konieczności ponownej obróbki płytek oraz większa jakość produktu. Ponadto oszczędza się energię, ponieważ unika się konieczności ciągłego odzyskiwania temperatury po jej zmianach. Dodatkowo zmniejsza się czas przestoju, ponieważ grzałka nie powoduje zanieczyszczeń ani niestabilności temperatury.
Oto praktyczne informacje: Grzałkę można zamontować w istniejących modułach kriogenicznych i termicznych, ale powierzchnia montażu musi być równa i czysta – od tego zależy jednorodność temperatury. Należy dostosować interwały kalibracji do harmonogramu konserwacji prewencyjnej, a także sprawdzić kompatybilność z kontrolerem przed instalacją grzałki.