Na linii produkcyjnej odchylenie temperatury o 1°C w piecu do delikatnego suszenia płytek nie jest drobnostką – to wpływa na efektywność procesu produkcji. Suszenie płytek, przygotowanie powłoki fotorezystowej przed procesem oraz jej utwardzanie po ekspozycji odbywają się w warunkach ścisłego kontrolowanego zakresu temperatury. Właśnie dlatego zainstalowaliśmy nasze urządzenia grzewcze w Chinach – aby stworzyć grzejniki oparte na falach podczerwonych, zaprojektowane specjalnie do kontroli procesów w półprzewodnikach, a nie do celów marketingowych.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Nasze moduły IR zapewniają jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki na poziomie ±0,1°C, przy tym precyzja ustawienia temperatury wynosi ±0,2°C. Szybka zmiana temperatury przyczynia się do skrócenia czasu potrzebnego na osiągnięcie żądanej temperatury, natomiast brak wytworzenia cząstek zapewnia stabilną liczbę cząstek w pomieszczeniach klasy 1–100. Elementy kwarcowo-halogenu zapewniają stabilną charakterystykę spektralną, dzięki czemu absorpcja światła przez fotorezyst pozostaje stała. Korpus grzejnika jest kompatybilny z pracą w próżni lub przy użyciu gazów obojętnych. Moc grzewcza jest dostosowywana do właściwości termicznych podłoża, a nie samego korpusu grzejnika – dzięki temu proces produkcji funkcjonuje poprawnie, bez wpływu na sam grzejnik.
Dlaczego to działa w praktyce
W celach litografii temperatura w piecu bezpośrednio wpływa na lepkość fotorezystu oraz grubość jego warstwy. Nasze rozwiązania gwarantują zachowanie tej wartości w określonych granicach, co zmniejsza rozbieżności w parametrach produkcyjnych. Podczas suszenia płytek po procesie czyszczenia szybkie i równomierne ogrzewanie zapobiega deformacji wzoru na płyce oraz powstawaniu niepożądanych efektów. Ponadto, ponieważ grzejniki IR nagrzewają bezpośrednio płytkę, a nie ściany komory, zużycie energii jest mniejsze. Urządzenia te mogą pracować 24/7 z minimalną konserwacją – dane z terenu pokazują, że mogą pracować 5 000 godzin z odchyleniem wydajności poniżej 5%.
Na co należy zwrócić uwagę podczas planowania
Te grzejniki wymagają dedykowanego źródła zasilania oraz dokładnej kalibracji emisji dla każdej warstwy procesowej. Umieszczenie ich w istniejących piecach nie stanowi problemu, ale jakakolwiek zmiana w właściwościach termicznych podłoża może wymagać krótkiego czasu na dostosowanie parametrów grzewczych. Przed rozpoczęciem produkcji seryjnej należy przeprowadzić testy trwające 100 godzin oraz pomiary bazowe.