Di fasiliti pengeluaran ini, perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pembakaran bahan fotoresist bukanlah angka yang kecil. Perubahan ini akan menyebabkan penyebaran lebar garisan, masalah kualiti produk yang tidak memuaskan, dan pembaziran bahan mentah. Pemanasan menggunakan cahaya inframerah boleh dilakukan dengan tepat, tetapi hanya jika voltan yang digunakan untuk menggerakkan sumber cahaya inframerah itu stabil, agar suhu dapat dikawal dengan baik. Kami telah mencipta alat pengawal voltan inframerah khusus untuk memenuhi syarat-syarat tersebut.
Apa yang penting dari segi teknikal:
Kami berusaha untuk mencapai keseragaman suhu sekitar ±0.1°C pada seluruh permukaan wafer, dengan mengekalkan kuasa input inframerah pada tahap yang stabil. Dengan cara ini, fluktuasi suhu yang disebabkan oleh faktor-faktor tertentu tidak akan mempengaruhi suhu maksimum. Alat pengawal voltan ini sesuai digunakan dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100, kerana bahan-bahan yang digunakan dapat mengurangkan penghasilan zarah-zarah kecil hingga hampir sifar. Proses pembakaran yang dilakukan secara manual atau automatik juga dapat diulang-ulang dengan hasil yang konsisten, kerana alat pengawal ini dapat mengimbangi turun naik voltan sebelum ia sampai ke sumber cahaya inframerah. Alat ini dapat beroperasi 24/7 tanpa gangguan suhu, dan jangka hayatnya boleh mencapai 5,000 jam dengan penurunan prestasi kurang dari 5%.
Dalam proses litografi, masa proses, kadar pengeluaran, dan tahap kebersihan merupakan faktor-faktor yang sangat penting. Kuasa inframerah yang stabil dapat mengelakkan masalah yang disebabkan oleh ketidakteraturan suhu semasa proses pembakaran, serta membantu memastikan dimensi produk tetap tepat. Selain itu, alat ini juga dapat mengurangkan pembaziran tenaga dengan mengelakkan situasi di mana kuasa berlebihan dikeluarkan, dan ia juga memudahkan penyelenggaraan dengan melindungi sumber cahaya inframerah daripada tekanan voltan.
Berikut adalah butiran praktikalnya. Pilih alat pengawal voltan yang sesuai dengan jenis sumber cahaya inframerah yang digunakan—sama ada gelombang pendek, gelombang sederhana, atau serat karbon. Pastikan dimensi sambungan dan cara pemasangan alat tersebut sesuai dengan antaramuka alat yang digunakan. Proses penyesuaian alat ini sangat mudah; anda hanya perlu menetapkan nilai PID agar sesuai dengan karakteristik termal plat panas atau ketuhar inframerah yang digunakan. Di kawasan berkelembapan tinggi, perlu ada langkah-langkah untuk mengawal kelembapan di sekitar alat tersebut agar stabilitasnya dapat dipertahankan dalam jangka panjang.