Nelle fabbriche di produzione, una variazione di temperatura di 1°C durante il processo di essiccazione del fotoresist non rappresenta certo una variazione “minuscola”. Questo tipo di variazione si manifesta come ampliamento della larghezza delle linee elettriche, formazione di particelle indesiderate e produzione di materiali scartati. La riscaldazione ad infrarossi può essere precisa, ma solo se la tensione che alimenta la sorgente a infrarossi è sufficientemente stabile da mantenere costante il bilancio termico. Abbiamo progettato il nostro Regolatore di tensione per affrontare proprio questa sfida.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Il nostro obiettivo è raggiungere un’omogeneità della temperatura di ±0,1°C su tutta la superficie del wafer, mantenendo costante la potenza in ingresso da parte della sorgente a infrarossi entro limiti molto stretti. In questo modo, le fluttuazioni di temperatura causate dalle linee elettriche non influenzano la temperatura massima raggiunta. Il regolatore è compatibile con ambienti a livello di pulizia Class 1–100, grazie all’uso di materiali e finiture che riducono al minimo la produzione di particelle. I processi di essiccazione possono essere eseguiti in modo affidabile, poiché il controller compensa eventuali variazioni di tensione prima che queste arrivino all’emettitore. È possibile utilizzare questi dispositivi 24/7, con bassa variazione termica e lunghi intervalli di manutenzione: alcuni dispositivi hanno funzionato per oltre 5.000 ore senza perdite di prestazioni superiori al 5%.
Nei laboratori di litografia, tempi di ciclo, resa e livelli di pulizia sono elementi fondamentali. Una potenza a infrarossi stabile evita problemi legati all’irregolarità nella riscaldatura, riduce i tempi di qualificazione dei dispositivi e permette di mantenere sotto controllo le dimensioni critiche dei componenti. Inoltre, si riduce l’energia sprecata evitando sovratensioni e cicli di funzionamento non necessari. Infine, il regolatore semplifica la manutenzione, proteggendo gli emettitori a infrarossi dalle variazioni di tensione.
Ecco i dettagli pratici: è necessario abbinare il regolatore all’emettitore a infrarossi appropriato – a onde corte, a onde medie o realizzato in fibra di carbonio – e verificare le dimensioni dei connettori e dell’alloggiamento in base alle specifiche del dispositivo. La messa in funzione è semplice: basta regolare la risposta PID in base alla massa termica della piattaforma di riscaldamento o del forno a infrarossi. Nei ambienti ad alta umidità, è necessario controllare la formazione di condensa attorno al dispositivo per mantenere la stabilità a lungo termine.