स्पिन कोटर बेक लैंप

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “बेक” करना केवल तापमान बढ़ाने हेतु नहीं किया जाता; इसका उद्देश्य फोटोरेजिस्ट की संरचना को निर्धारित करना है। “सॉफ्ट बेक” या...