हम अर्धचालक उत्पादन में UHP इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग क्यों कर रहे हैं?
अर्धचालक उद्योग, पुरानी प्रकार की ओवन तकनीकों से दूर जा रहा है। अब हम अत्यधिक शुद्धता वाले UHP इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग कर रहे हैं। यह कोई सामान्य उद्योगीय रुझान नहीं है… यह तो ऐसे कठोर मानकों को पूरा करने का तरीका है, जिसमें बिजली की बर्बादी न हो।
भौतिकी के नियमों का सही उपयोग
सामान्य ओवनों में हवा को गर्म किया जाता है, और फिर वह हवा वेफरों को गर्म करती है… यह प्रक्रिया धीमी एवं अकुशल है।
जबकि UHP इन्फ्रारेड लैंप, अल्प-तरंगदैर्घ्य वाले विकिरण का उपयोग करके ऊर्जा को सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचाते हैं… इससे गर्मी केवल चैंबर की दीवारों पर ही नहीं, बल्कि सीधे सब्सट्रेट पर ही पड़ती है।
सबसे अच्छी बात यह है कि ऐसे लैंपों के उपयोग से आप अपने उत्पादन संयंत्र का आकार घटा सकते हैं, बिना उत्पादन दर में कोई कमी आने के… यह आपके स्थान एवं ऊर्जा खर्च के लिहाज से लाभदायक है।
संदूषण से बचना
क्लीनरूम में, वायु में मौजूद अशुद्धियाँ ही समस्या हैं… वायु में थोड़ी सी भी अशुद्धि होने पर ही समस्या उत्पन्न हो जाती है।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज एवं विशेष हैलोजन सामग्रियों का उपयोग करते हैं… हमें यह सुनिश्चित करना है कि कोई भी धात्विक पदार्थ वातावरण में न जाए… ऐसे लैंप अत्यधिक गर्मी को सह सकते हैं, इसलिए वेफरों पर कोई अशुद्धता नहीं आती।
गति एवं सटीकता का संतुलन
UHP लैंपों का उपयोग करने से उत्पादन प्रक्रिया तेज हो जाती है… लेकिन इस तेजी के साथ ही कुछ चुनौतियाँ भी हैं… क्योंकि ऊर्जा बहुत ही अधिक होती है, इसलिए आपको कन्वेयर की गति एवं लैंप से दूरी का ध्यान रखना होता है… यदि PID कंट्रोलरों को सही ढंग से सेट न किया जाए, तो वेफरों के किनारे जल सकते हैं… इसे सही ढंग से संभालने हेतु थोड़ी सावधानी आवश्यक है।
प्रक्रिया को साफ रखना
इन्फ्रारेड तकनीक में उत्पादन प्रक्रिया शुष्क ही होती है… इसका मतलब है कि आपको अब रासायनिक विलायकों या सीसा-आधारित उत्प्रेरकों की आवश्यकता ही नहीं है… जो पुरानी तकनीकों में आम थे।
UHP इन्फ्रारेड तकनीक के उपयोग से आप उत्पादन प्रक्रिया में मौजूद सभी अशुद्धियों को दूर कर सकते हैं… यही शून्य-उत्सर्जन वाली उत्पादन प्रक्रिया का सबसे आसान तरीका है।