कटिंग साइकल टाइम: वैक्यूम-आधारित आईआर हीटर, हॉट एयर हीटर से बेहतर क्यों हैं?
यदि आप सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में काम करते हैं, तो आप जानते ही होंगे कि हर बर्बाद हुआ सेकंड, वास्तव में पैसों का नुकसान है। कई लोग हॉट एयर हीटरों का उपयोग करते हैं, लेकिन यदि आप वास्तव में कटिंग साइकल टाइम को कम करना चाहते हैं, तो आपको वैक्यूम-आधारित आईआर हीटरों का ही उपयोग करना होगा।
फोर्स्ड कंवेक्शन की समस्याएँ:
फोर्स्ड कंवेक्शन में ऊष्मा को वेफर तक पहुँचाने हेतु गैस की आवश्यकता होती है। लेकिन वैक्यूम में तो हवा ही नहीं होती… ऐसी स्थिति में ऊष्मा को कहीं भी पहुँचाना संभव ही नहीं है।
आईआर हीटर का लाभ:
आईआर हीटर, विद्युतचुम्बकीय विकिरण का उपयोग करके ऊष्मा को सीधे वेफर तक पहुँचाते हैं। इस प्रक्रिया में बहुत कम समय लगता है… आपको चैंबर के अंदर की हवा को गर्म करने में बर्बाद होने वाला समय भी नहीं लगता। आपके वेफर लगभग तुरंत ही वांछित तापमान तक पहुँच जाते हैं… इससे आपकी उत्पादन क्षमता में वृद्धि हो जाती है।
स्वच्छता बनाए रखना:
वैक्यूम में कोई भी हीटर इस्तेमाल नहीं किया जा सकता… क्योंकि सामान्य हीटरों से गैस निकल सकती है… जो कि क्लीनरूम में बहुत ही समस्याजनक है। हम ऐसी स्थितियों से निपटने हेतु विशेष क्वार्ट्ज आवरणों एवं सीलों का उपयोग करते हैं… इससे वैक्यूम में भी हीटर कार्य कर सकता है। हम उच्च शुद्धता वाली सामग्रियों का भी उपयोग करते हैं… ताकि गर्म होने पर कोई धुआँ या कण न निकलें… इससे वैक्यूम स्थिर रहता है, एवं वेफर भी स्वच्छ रहते हैं।
कुछ कमियाँ:
हालाँकि आईआर हीटर बेहतरीन हैं… लेकिन कुछ कमियाँ भी हैं। चूँकि ऊष्मा स्थानांतरण बहुत तेज़ होता है… इसलिए यदि PID लूप ठीक से काम न करे, तो लक्षित तापमान प्राप्त करना मुश्किल हो जाता है। इसलिए आपको त्वरित प्रतिक्रिया वाले थर्मोकपल/पायरोमीटरों का उपयोग करना होगा… साथ ही, आपको अपनी कूलिंग प्रणाली पर भी ध्यान देना होगा… यदि कूलिंग प्रणाली कमज़ोर हो, तो वह गर्मी को चैंबर की दीवारों में जाने देगी… जिससे सेंसरों के पढ़ने में समस्या होगी।
लेकिन…
यदि आप इन हीटरों को प्रीसिज़न पावर कंट्रोलर के साथ उपयोग करें, तो लाभ बहुत ही अधिक होंगे… आपको बेहतर थर्मल ग्रेडिएंट मिलेंगे… एवं आपके उपकरणों का आकार भी कम हो जाएगा… इससे आपकी लैब में जगह भी बच जाएगी।