वेफर को सही तरीके से गर्म करना (ऊर्जा की बर्बादी बिना)
जब सिलिकॉन वेफरों को धोने की प्रक्रिया में काम किया जाता है, तो एक कठिन संतुलन बनाना होता है। वेफर की सतह को सूखा एवं गर्म रखना आवश्यक है; लेकिन पूरे चेंबर को ओवन में बदलना या अत्यधिक ऊर्जा का उपयोग करना भी ठीक नहीं है।
हम इस समस्या को वॉटरप्रूफ IR लैंपों एवं सोने से ढके गैर-परावर्तकों के उपयोग से हल करते हैं। ऐसा करने से क्यों फायदा होता है?
सोना क्यों?
ज्यादातर लोग एल्यूमिनियम के गैर-परावर्तकों का उपयोग करते हैं। ये सस्ते तो हैं, लेकिन एल्यूमिनियम अधिकांश इन्फ्रारेड ऊर्जा को अपने अंदर ही सोख लेता है।
हम सोने का उपयोग करते हैं, क्योंकि यह निकट-इन्फ्रारेड प्रकाश को परावर्तित करने में बेहतरीन है। यह सिर्फ दिखावे के लिए नहीं है… बल्कि फोटॉनों को वेफर की ओर वापस भेजने हेतु ही है। इससे वेफर जल्दी ही वांछित तापमान तक पहुँच जाता है, एवं कम ऊर्जा का ही उपयोग होता है। यह बहुत ही कुशल तरीका है।
गर्मी से निपटना
ये लैंप गीले एवं गंदे वातावरण में भी काम कर सकते हैं। विकिरण को केंद्रित करके, हम उस “अनावश्यक गर्मी” को मशीन के अंदर जाने से रोकते हैं। इससे गर्मी सीधे वेफर तक पहुँचती है।
लेकिन ध्यान रखें… सोना सस्ता नहीं है। शुरुआती लागत एल्यूमिनियम की तुलना में अधिक होगी। लेकिन तेज़ प्रक्रिया-समय एवं कम ऊर्जा-खर्च, इस अतिरिक्त लागत के लायक हैं।
उपकरणों को सुरक्षित रखना
सबसे अच्छी बात यह है कि ये लैंप सीधे ही मौजूदा IR उपकरणों में इस्तेमाल किए जा सकते हैं। हमने इनके सीलों को ऐसा बनाया है कि कोई भी रसायन अंदर न जा सके।
एक बात और… यदि आपकी शीतलन प्रणाली वेफर पर आने वाली अतिरिक्त गर्मी को संभालने में सक्षम न हो, तो तापमान में अचानक वृद्धि हो सकती है। अपने PID लूपों पर नज़र रखें।
एवं अपने लिए एक अच्छी बात करें… हर तीन महीने में उन गैर-परावर्तकों की जाँच करें। यदि उन पर गंदगी या अन्य पदार्थ जम जाएं, तो उनकी परावर्तक क्षमता कम हो जाती है। ऐसी स्थिति में लैंपों को अधिक काम करना पड़ता है, जिससे वे जल्दी ही खराब हो जाते हैं। उन्हें साफ रखें, ताकि वे लंबे समय तक काम कर सकें।