چگونه دمای ویفرها را به درستی تنظیم کنیم (بدون هدررفت انرژی)
وقتی که با فرآیند شستشوی ویفرهای سیلیکونی سروکار دارید، باید تعادلی دشوار برقرار کنید. شما نیاز به سطحی خشک و گرم دارید، اما نمیخواهید کل محفظه به یک فر تبدیل شود یا مصرف انرژی شما افزایش یابد.
ما این مشکل را با استفاده از لامپهای مادون قرمز ضدآب در کنار منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا حل میکنیم. دلایل این کار را در ادامه خواهیم ذکر.
چرا طلا؟
بیشتر مردم از منعکسکنندههای آلومینیومی استفاده میکنند؛ البته این منعکسکنندهها ارزان هستند. اما آلومینیوم مقدار زیادی از انرژی مادون قرمز را جذب میکند، به جای اینکه آن را به جای مناسب هدایت کند.
ما از طلا استفاده میکنیم؛ زیرا طلا در بازتاب نور مادون قرمز عالی عمل میکند. این کار صرفاً برای ظاهر نیست؛ بلکه برای بازتاب نور به سمت ویفر است. طلا مقدار بیشتری از نور را به سمت ویفر بازتاب میدهد، که باعث میشود دمای ویفر سریعتر به میزان مورد نظر برسد.
نتیجه چیست؟ ویفر شما سریعتر به دمای مورد نظر میرسد، و شما مصرف انرژی کمتری خواهید داشت. این روش بسیار کارآمد است.
مقابله با گرما
این لامپها طوری طراحی شدهاند که بتوانند در محیطهای مرطوب و پر از آلودگی کار کنند. با تمرکز کردن تشعشعات، میتوانیم از نفوذ گرمای اضافی به داخل دستگاه جلوگیری کنیم. در نتیجه، پرتو گرما دقیقاً به جای مناسب خود میرسد.
البته، طلا ارزان نیست؛ هزینه اولیه استفاده از آن بالاتر خواهد بود. شما باید تصمیم بگیرید که آیا زمان کار کمتر و هزینه انرژی کمتر ارزش این هزینه اولیه را دارد یا نه. معمولاً اینطور است.
حفظ عملکرد دستگاه
نکته خوب این است که این لامپها میتوانند به جای لامپهای موجود در سیستم IR استفاده شوند. ما مطمئن شدهایم که سیستمهای مهر و مومکاری این لامپها کاملاً بسته هستند؛ بنابراین مواد شیمیایی موجود در محیط نمیتوانند وارد لامپ شوند و آنها را خراب کنند.
یک نکته مهم: اگر سیستم خنککننده شما برای تحمل این میزان گرمای اضافی آماده نباشد، ممکن است دمای ویفر به شدت افزایش یابد. لطفاً مراقب مدارهای کنترل دما باشید.
همچنین، لطفاً هر سه ماه یک بار منعکسکنندهها را بررسی کنید؛ اگر آلودگی یا لکههایی روی آنها ایجاد شود، بازتاب نور کاهش خواهد یافت. در این صورت، لامپها باید بیشتر کار کنند تا این کمبود را جبران کنند؛ این کار باعث میشود لامپها زودتر خراب شوند. لطفاً آنها را تمیز نگه دارید تا عمر بیشتری داشته باشند.