¿Por qué dejamos de usar aire caliente y pasamos a utilizar la radiación infrarroja en el procesamiento de semiconductores?
Si todavía dependen de la circulación de aire caliente para los ciclos térmicos, es probable que estén perdiendo demasiado tiempo esperando. En el procesamiento avanzado de semiconductores, ese tiempo de espera es un verdadero obstáculo; es el factor que ralentiza todo el proceso.
Cambiar a calefacción por radiación infrarroja no significa comprar un equipo sofisticado. Se trata simplemente de recuperar el tiempo que se pierde en espera.
El problema con el aire
Piense en cómo funciona el aire caliente: se calienta el aire, y luego ese aire debe calentar el sustrato. Es como tener un intermediario… y los intermediarios son lentos.
La radiación infrarroja es diferente: utiliza radiación electromagnética para calentar directamente el material objetivo. Sin intermediarios. Sin necesidad de esperar a que el aire se caliente. En los sistemas que construimos, la velocidad de calentamiento es de 5 a 10 veces mayor que en los sistemas antiguos basados en aire forzado. Es rápido. Muy rápido.
Construyendo el dispositivo
No basta con poner un calentador por infrarrojos dentro de una caja de cartón y listo. Especialmente en una sala limpia.
Construimos las carcasas de nuestros calentadores con acero inoxidable de alta calidad. Esto permite mantener todo limpio: sin emisiones de gases ni corrosión. Pero aquí está el truco: la carcasa en realidad funciona como un espejo. Nos aseguramos de que cada fotón reboté directamente sobre el sustrato. Si el ángulo no es preciso, simplemente se desperdicia energía y se pierde calor.
Las desventajas (y cómo solucionarlas)
La radiación infrarroja actúa de manera intensa y rápida. No se puede simplemente sustituirla por un sistema antiguo basado en aire forzado y esperar que funcione bien. Si el material no puede resistir un aumento repentino de temperatura, podría romperse. Para evitar esto, utilizamos un controlador PID para programar una curva de potencia gradual. Es como un regulador de intensidad: permitimos que el calor aumente gradualmente, para que el material no sufra daños.
Lo que esto realmente significa para usted
Cuando deja de preocuparse por el volumen de aire y se enfoca en la energía radiante, ocurren dos cosas:
Primero, los tiempos de precalentamiento disminuyen drásticamente. Eso significa que puede procesar muchas más unidades por hora.
Segundo, el equipo se vuelve más pequeño. Dado que no necesita cámaras grandes para la circulación de aire, toda la estación se reduce en tamaño. Puede producir más sin necesidad de cambiar las paredes o alquilar más espacio en almacenes.