¿Por qué estamos pasando al uso de lámparas infrarrojas de ultra alta pureza en el proceso de curado semiconductor?
El mundo de los semiconductores está dejando atrás esos hornos convencionales antiguos. Observamos un cambio significativo hacia el uso de lámparas infrarrojas de ultra alta pureza. No se trata simplemente de una tendencia industrial; se trata de cumplir con esos estrictos estándares de secado sin utilizar grandes cantidades de energía eléctrica.
Entendiendo la física detrás del proceso
Piense en cómo funciona un horno convencional: se calienta el aire, y luego ese aire calienta las obleas. Es un proceso lento e ineficiente.
Las lámparas infrarrojas de ultra alta pureza funcionan de manera diferente. Utilizan radiación de onda corta para enviar energía directamente al sustrato. El calor no se queda atrapado en las paredes de la cámara; llega directamente al objetivo y se queda allí.
Lo mejor de todo es que se puede reducir el tamaño del equipo de secado sin disminuir la eficiencia del proceso. Es una ventaja tanto en términos de espacio como de costos energéticos.
La lucha contra la contaminación
En una sala limpia, la emisión de gases es un problema grave. Un solo impureza en el aire puede causar problemas.
Por eso utilizamos cuarzo sintético de alta pureza y sustancias halógenas específicas. Debemos asegurarnos de que no haya contaminantes metálicos en el ambiente. Estas lámparas pueden soportar temperaturas extremas sin que el cuarzo se dañe, lo que permite obtener una fuente de calor limpia que no libera partículas en las obleas.
El equilibrio entre velocidad y precisión
Las lámparas de ultra alta pureza son muy eficaces. El tiempo necesario para alcanzar la temperatura deseada es casi instantáneo.
Pero esa velocidad tiene sus desventajas. Dado que la energía está muy concentrada, hay que tener mucho cuidado con la velocidad del transportador y la distancia desde la lámpara. Si los controladores PID no se ajustan correctamente, se podrían dañar los bordes de las obleas. Se necesita algo de habilidad para lograr un resultado perfecto.
Mejorando el proceso
El curado por infrarrojos es un proceso seco. Eso significa que ya no es necesario recurrir a solventes químicos o catalizadores a base de plomo, que solían ser comunes en los procesos antiguos.
Al pasar al uso de lámparas infrarrojas de ultra alta pureza, se eliminan esos tóxicos de la línea de producción. Es la forma más simple de lograr un proceso de secado sin emisiones.