Proč přecházíme na UV infračervené vysoušení v polovodičových provozech
Svět polovodičů se odchyluje od těch staromódních konvekčních pecí. Vidíme velký posun směrem k zářivkám s ultra vysokou čistotou (UHP). Nejde jen o nějaký průmyslový trend – jde o to dosáhnout přísných norem bez olova a ekologického vysoušení, aniž bychom plýtvali elektřinou.
Správné použití fyziky
Představte si, jak funguje běžná pec. Nejprve se ohřívá vzduch, a teprve potom vzduch ohřívá wafer. Je to pomalé a neefektivní.
Zářivky UHP fungují jinak. Využívají krátkovlnné záření k přenosu energie přímo do substrátu. Teplo nezůstává pouze u stěn komory – dostane se přímo k cíli a tam zůstane.
Nejlepší na tom je, že můžete zmenšit velikost zařízení na vysoušení, aniž by se snížila rychlost práce. To je výhoda jak z hlediska prostoru, tak i nákladů na elektřinu.
Boj proti kontaminaci
V čistých prostorách je hlavním problémem uvolňování škodlivin do vzduchu. Stačí jeden malý kus nečistoty ve vzduchu a máte problém.
Proto používáme syntetický křemen vysoké čistoty a speciální halogenové látky. Musíme zajistit, aby do prostředí nepronikly žádné kovové kontaminanty. Tyto zářivky dokážou zvládnout extrémní teploty, aniž by se křemenná obálka poškodila. Díky tomu máte čistý zdroj tepla, který neuvolňuje žádné částice na vaše wafery.
Kompromis mezi rychlostí a přesností
U zářivek UHP jde o velmi vysokou intenzitu. Doba nastartování je téměř okamžitá.
Ale tato rychlost má své nevýhody. Protože je energie tak koncentrovaná, musíte být velmi opatrní s rychlostí dopravy waferů a vzdáleností od zářivky. Pokud nejsou regulátory PID správně nastaveny, můžete spálit okraje waferů. Je potřeba trocha obratnosti, abyste dosáhli perfektných výsledků.
Čištění procesu
Vysoušení pomocí infračerveného záření je suchý proces. To znamená, že už nemusíte spoléhat na chemické rozpouštědla nebo katalyzátory na bázi olova, které byly v minulosti běžné.
Přechodem na zářivky UHP odstraníte tyto toxiny z výrobní linky. Je to nejjednodušší způsob, jak dosáhnout stavu nulových emisí při vysoušení.