如何保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净室中工作时，加热是一个棘手的问题。这里的关键不仅仅是让物体变暖，还要确保不会意外地将颗粒物带入工作区域。
大多数普通的加热元件都有问题——它们会释放气体，还会产生微小的物质碎片。这无疑会带来灾难性后果。因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外线灯。这类灯可以提供所需的热量，同时不会产生臭氧或有害的挥发性有机化合物，从而避免影响生产过程。
臭氧问题
许多短波红外线灯存在一个缺陷：它们释放的能量能够分解空气中的氧气分子，从而产生臭氧。在洁净室中，臭氧是一种具有腐蚀性的物质，它会侵蚀敏感部件，破坏昂贵的晶圆或镜片涂层。为了解决这个问题，我们对灯丝和石英外壳进行了调整，使其光谱输出更加稳定。这样一来，能量就能直接作用于工件上，而不会与空气发生反应。
内部结构
我们使用的是高纯度的熔融石英。这种材料非常坚固，能够承受极端的热冲击，且不会随时间结晶。此外，我们还确保密封装置绝对严密，防止任何物质泄漏。由于处于无尘环境，我们还去除了所有的粘合剂和涂层。没有粘合剂的话，就不存在物质脱落的问题。这样，管道就能始终保持稳定，即使在最高温度下也是如此。
需要注意的事项
当然，凡事都有权衡。高纯度石英虽然能保证极高的清洁度，但其脆性却比普通的硼硅玻璃更高。切勿用裸手触摸这些管道，因为皮肤上的油脂会导致局部过热，进而使管道破裂。应使用真空密封装置来固定这些管道。最后一点建议是：如果需要以最大功率进行加热，那么就要密切关注空调系统的情况。因为大量热量会被引入房间，一旦室温上升，就会影响到整个环境的稳定性。