晶圆处理设备用温度传感器

如何防止化学晶圆处理工具发生爆炸？ 说实话，将易挥发、易燃的化学物质与红外线加热灯放在一起使用，简直就是自找灾难。因为这样的设置相当于在工艺过程中埋下了一个高风险的点火源。 我们找到了解决这个问题的方法：不再使用那些暴露在外的结构设计，而是用密封材料将整个装置包裹起来。 我们是如何确保安全的？ 普...