Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ 1°C trong quá trình nung phim cảm quang không phải là con số nhỏ chút nào. Sự thay đổi này dẫn đến sự sai lệch về chiều rộng của các đường kẻ trên wafer, cũng như tạo ra các khuyết tật trên bề mặt wafer. Phương pháp sử dụng nhiệt độ hồng ngoại để nung có thể mang lại độ chính xác cao, nhưng điều này chỉ có thể xảy ra nếu điện áp cung cấp cho nguồn hồng ngoại đủ ổn định để duy trì nhiệt độ mong muốn. Chúng tôi đã thiết kế bộ điều chỉnh điện áp dành cho nguồn hồng ngoại sao cho phù hợp với yêu cầu này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Chúng tôi hướng tới mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, bằng cách duy trì điện áp cung cấp cho nguồn hồng ngoại ở mức ổn định trong phạm vi cho phép. Nhờ đó, các biến đổi nhiệt độ do các yếu tố bên ngoài gây ra sẽ không ảnh hưởng đến nhiệt độ cực đại. Bộ điều chỉnh điện áp này phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100; các vật liệu và bề mặt được sử dụng giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi. Quy trình nung có thể được lặp đi lặp lại một cách đồng đều, vì bộ điều khiển sẽ tự điều chỉnh điện áp trước khi nó ảnh hưởng đến nguồn hồng ngoại. Bạn có thể vận hành thiết bị 24/7 mà không gặp vấn đề về sự thay đổi nhiệt độ; tuổi thọ của thiết bị có thể lên đến 5.000 giờ với mức suy giảm hiệu suất dưới 5%.
Trong các nhà máy sản xuất chip, thời gian sản xuất, tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn và mức độ sạch sẽ là những yếu tố vô cùng quan trọng. Việc duy trì điện áp ổn định sẽ giúp giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm do sự không đồng đều về nhiệt độ, rút ngắn thời gian chế tạo, và giúp kiểm soát chính xác các kích thước quan trọng của wafer. Ngoài ra, việc này còn giúp tiết kiệm năng lượng bằng cách tránh việc dư thừa năng lượng hoặc các chu kỳ vận hành không cần thiết. Việc bảo trì cũng trở nên đơn giản hơn nhờ việc bảo vệ các nguồn hồng ngoại khỏi những tác động tiêu cực từ điện áp.
Đây là những chi tiết kỹ thuật cần lưu ý. Hãy chọn bộ điều chỉnh điện áp phù hợp với loại nguồn hồng ngoại được sử dụng – sóng ngắn, sóng trung bình hay sợi carbon – và kiểm tra kích thước các kết nối và phần lắp đặt để đảm bảo chúng phù hợp với giao diện của thiết bị. Việc lắp đặt và điều chỉnh thiết bị khá nhanh: bạn chỉ cần điều chỉnh thông số PID sao cho phù hợp với khối lượng nhiệt của bề mặt nung hoặc lò hồng ngoại. Trong môi trường có độ ẩm cao, cần phải kiểm soát sự tích tụ hơi nước xung quanh thiết bị để đảm bảo sự ổn định lâu dài.