Trong quy trình sản xuất, sự sai lệch nhiệt độ 1°C trong lò nung mềm không phải là điều nhỏ nhặt. Đó chính là yếu tố ảnh hưởng đến hiệu suất sản xuất. Các bước như sấy wafer, xử lý phim quang học trước khi nung, và quá trình khôi phục phim sau khi chiếu tia cũng đều phụ thuộc vào mức nhiệt độ chính xác. Đó chính là lý do tại sao chúng tôi chọn Trung Quốc để sản xuất các thiết bị sưởi này: để tạo ra những thiết bị sưởi bằng bức xạ hồng ngoại có khả năng kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, chứ không phải chỉ để trang trí.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Các mô-đun hồng ngoại của chúng tôi giúp đạt được độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, với độ lặp lại nhiệt độ trong khoảng ±0,2°C. Tốc độ gia nhiệt nhanh giúp giảm thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn. Việc không tạo ra các hạt bụi giúp duy trì mức độ bụi ở mức ổn định trong môi trường dạng Class 1–100. Các linh kiện hồng ngoại bằng thạch anh-halogen giúp tạo ra bức xạ quang phổ ổn định, từ đó giúp phim quang học hấp thụ ánh sáng một cách đồng đều. Thân máy sưởi cũng có thể hoạt động trong môi trường chân không hoặc khí trơ. Công suất sưởi được điều chỉnh dựa trên khối lượng nhiệt của bề mặt wafer, chứ không phải dựa trên kích thước vỏ máy – nhờ đó quá trình sản xuất sẽ được kiểm soát chính xác.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong thực tế Trong quy trình in ăn mòn, nhiệt độ nung mềm ảnh hưởng trực tiếp đến độ nhớt và độ dày của lớp phim quang học. Phương pháp sử dụng bức xạ hồng ngoại giúp kiểm soát chính xác các thông số này, từ đó giảm sự biến đổi về kích thước mẫu in. Đối với việc sấy wafer sau khi rửa, việc gia nhiệt nhanh và đồng đều giúp ngăn chặn sự co rút của mẫu in và các vết bẩn. Vì bức xạ hồng ngoại sưởi trực tiếp lên wafer, nên mức tiêu thụ năng lượng giảm đi. Các thiết bị này có thể hoạt động 24/7 với chi phí bảo trì thấp – theo dữ liệu thực tế, chúng có thể hoạt động hơn 5.000 giờ mà mức suy giảm công suất chỉ dưới 5%.
Những điều cần lưu ý khi lập kế hoạch Các thiết bị sưởi này cần có nguồn điện chuyên dụng và được điều chỉnh chính xác để phù hợp với từng giai đoạn của quy trình sản xuất. Việc lắp chúng vào các lò nung cũ khá đơn giản, nhưng bất kỳ sự thay đổi nào về khối lượng nhiệt đều có thể yêu cầu việc điều chỉnh lại để đạt được độ chính xác cần thiết. Trước khi bắt đầu sản xuất hàng loạt, hãy dành thời gian để kiểm tra hiệu suất của các thiết bị này trong vòng 100 giờ.