Op de productielijn is een verschil van 1°C tijdens het verhitten van het fotorezerveermiddel zeker geen ‘kleine afwijking’. Het heeft tot gevolg dat de breedte van de lijnen verandert, er onzuiverheden ontstaan en er materiaal verloren gaat. IR-verwarming kan nauwkeurig zijn, maar alleen als de spanning die naar de IR-bron wordt gestuurd voldoende stabiel is, zodat de thermische omstandigheden behouden blijven. We hebben onze IR-spanningsregelaar zo ontworpen dat deze aan deze eisen voldoet.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We streven ernaar om een effectieve temperatuurnauwkeurigheid van ±0,1°C te bereiken over het hele oppervlak van de wafer. Dit wordt bereikt door de IR-energievoorziening binnen strikte toleranties te houden, zodat fluctuaties in de temperatuur niet tot problemen leiden. De regelaar is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100; de materialen en afwerkingen zorgen ervoor dat er nauwelijks deeltjes worden gegenereerd. Zowel zachte als harde verhittingsprocedures blijven reproduceerbaar, omdat de controller de spanningsschommelingen compenseert voordat ze de emitter bereiken. U kunt de apparaten 24/7 gebruiken zonder dat er grote temperatuurschommelingen optreden. De apparaten kunnen meer dan 5.000 uur werkzaam blijven, met minder dan 5% daling in de output.
In lithografieapparaten zijn de cyclusduur, het rendement en de reinheid van cruciaal belang. Een stabiele IR-energievoorziening voorkomt herwerkzaamheden door ongelijke verhittingen, verkort de tijd die nodig is voor kalibratie en helpt bij het behouden van nauwkeurige dimensies. Bovendien wordt er minder energie verspild, doordat overtollige spanningen worden voorkomen. Ook wordt het onderhoud vereenvoudigd, omdat de IR-emitters beschermd worden tegen spanningsschommelingen.
Hier zijn de praktische details: pas de regelaar aan op de IR-emitter – kortegolfgolf, middenweggolf of koolstofvezel – en controleer de aansluitingen en montageafmetingen op basis van de interface van uw apparatuur. De instellingen kunnen snel worden aangepast: u past de PID-reactie aan op de thermische massa van de hete plaat of IR-oven. In omgevingen met hoge luchtvochtigheid moet u rekening houden met condensvorming rondom de apparatuur, zodat de lange termijnstabiliteit behouden blijft.