화학 처리 구역에서 웨이퍼를 처리할 때 안전을 지키는 방법
웨이퍼를 건조시키기 위해서는 많은 열이 필요합니다. 하지만 그 램프들을 화학 물질 처리 구역 근처에 두면 문제가 생깁니다. 휘발성 가스들이 곳곳에 퍼져 있으며, 스파크가 발생하면 작업 공간이 불길에 휩싸일 수 있습니다.
그래서 우리는 밀폐와 반사 기능에 매우 신경을 씁니다. 이는 단순히 열을 억제하는 것뿐만 아니라, 열이 정확히 원하는 위치에 머물도록 하는 것도 포함됩니다.
위험 요소 차단하기
연료성 세정제가 있는 방에 램프를 그대로 두는 것은 재앙을 초래할 수 있습니다. 우리는 그런 위험을 감수하지 않습니다. 대신, 전기 연결 부위를 공기와 완전히 분리하기 위해 밀폐 처리를 합니다. 연결点를 보호하기 위해 내식성이 뛰어난 가스켓을 사용합니다. 이렇게 하면 화학 물질이 절연체를 손상시키거나 단락을 일으키는 것을 막을 수 있습니다.
한 가지 팁: 케이스가 지면에 닿도록 해야 합니다. 정전기는 이러한 환경에서 치명적인 위험이 될 수 있으므로 이 단계를 절대 빠뜨리지 마세요.
열을 적절한 곳에 전달하기
만약 충분한 반사체가 없다면, 에너지의 절반만이 웨이퍼에 도달하게 됩니다. 우리는 고순도 알루미늄이나 금으로 코팅된 반사체를 사용하여 짧은 파장의 적외선을 웨이퍼에 직접 전달합니다. 이렇게 하면 열이 정확히 목표물에 집중되고, 케이스의 나머지 부분이 과열되는 것을 막을 수 있습니다.
반사체를 주의 깊게 확인하세요. 만약 반사체에 흠이 생기거나 정렬이 틀어지면 웨이퍼에 ‘차가운 부분’이 생기게 되고, 웨이퍼 건조 과정도 제대로 이루어지지 않습니다.
열과 안전의 절충점
문제는 고강도 램프가 엄청나게 뜨거워진다는 것입니다. 밀폐 처리는 폭발을 막아주지만, 동시에 램프 주변에 열이 축적되도록 합니다. 그냥 그대로 두면 안 됩니다. 적절한 냉각 팬이나 액체 냉각 시스템을 사용하여 열을 배출해야 합니다. 그렇지 않으면 밀폐재가 결국 손상되고, 안전성도 크게 저하됩니다. 저는 6개월마다 밀폐재를 점검하는 것을 권장합니다. 몇 분밖에 걸리지 않지만, 전체 시스템이 고장 나서 일주일 동안 작동하지 않는 상황보다는 낫습니다.