열을 낭비하지 마세요
반도체 제조 공장에서 에너지를 낭비하는 것은 단순히 예산 문제가 아니라 심각한 문제입니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, IR 에너지가 기계의 체스트 쪽으로 빠져나가는 것을 막아야 합니다. 이는 마치 창문을 활짝 열고 방을 난방하려는 것과 같습니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 적외선 램프를 사용합니다. 그 목적은 간단합니다. 모든 광자가 웨이퍼에 정확히 도달하도록 하는 것입니다.
금의 효능
일반적인 석영 램프는 에너지를 사방으로 방출하기 때문에 혼란스러운 결과를 초래합니다. 즉, 열의 절반은 잘못된 방향으로 가버립니다. 램프의 뒷면에 고순도 금을 얇게 코팅함으로써 상황이 완전히 달라집니다. 금은 근적외선 에너지의 98% 이상을 반사합니다. 그래서 전구 대신 방향성 있는 열빔이 생성됩니다. 웨이퍼에 전달되는 열량이 크게 증가하지만, 전기 요금은 그대로입니다.
단점
물론, 그렇게 많은 에너지를 작은 공간에 집중시키면 반드시 대가가 따릅니다. 열이 집중되면 램프 자체가 빠르게 뜨거워집니다. 따라서 냉각 시스템이 주변의 열을 효과적으로 처리할 수 있어야 합니다. 공기 흐름이 원활하지 않으면 필라멘트가 예상보다 빨리 손상될 수 있습니다.
열 센서를 잘 관찰해야 합니다. 웨이퍼가 목표 온도에 도달해야지, 램프가 녹아버리면 안 됩니다.
작동 원리
가장 좋은 점은, 이 램프들이 일반적인 적외선 램프와 거의 동일하게 사용될 수 있다는 것입니다. 금 코팅층이 매우 얇기 때문에 할로겐 광원의 스펙트럼에 영향을 주지 않습니다. 여전히 익숙한 파장의 빛이 나오지만, 그 양이 훨씬 많아집니다.
한 가지 팁: 금 코팅된 표면을 깨끗하게 유지하세요. 조금의 먼지나 화학물질만으로도 반사율이 떨어집니다. 그러면 웨이퍼에 과열 지점이 생기고, 결과적으로 치료나 에칭 과정이 불균일해집니다. 깨끗하게 유지하면 문제없이 작동합니다.