MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

기계를 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 건조시키는 데 집중해야 합니다. MEMS 제조 업무를 해본 사람이라면 웨이퍼를 건조시키는 것이 얼마나 어려운지 잘 알 것입니다. 웨이퍼 표면에 남은 잔여물들과 싸워야 하기 때문입니다. 기존의 방식인 일반적인 대류 오븐을 사용하...