반도체 생산 공정에서 발생할 수 있는 문제들에 대해 더 이상 걱정하지 마세요.
솔직히 말해서, 고부하 상태에서 적외선 램프가 파손되면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 기계가 멈추는 것뿐만 아니라, 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위에 떨어지게 되죠.
아주 작은 금이라도 있으면, 생산 과정이 완전한 오염 사고로 변할 수 있습니다. 바로 이런 이유로 우리는 시스템을 특별하게 설계하는 것입니다.
오염을 방지하기 위해
우리는 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 이 재료는 급격한 온도 변화에도 파손되지 않습니다. 하지만 우리는 오직 유리 재질에만 의존하지 않습니다.
램프를 보호용 커버로 감싸서 보호합니다. 이는 일종의 안전망과 같습니다. 만약 램프가 파손된다 해도, 커버가 그 파편들을 받아줍니다. 그렇게 되면 웨이퍼는 깨끗하게 유지되며, 한 개의 부품이 고장나더라도 전체 제품을 버릴 필요가 없습니다.
열 관리
고완전력 램프는 엄청난 열을 발생시킵니다. 램프에 ‘열점’이 생기면, 곧 파손될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해, 우리는 필라멘트의 허용 오차를 줄이고 전극 부분의 밀폐성을 강화하여 가스가 새어 나가지 않도록 합니다.
주의해야 할 점은 냉각 시스템입니다. 공기 흐름이 줄어들면, 램프가 과열되고 석영도 불안정해집니다. 이는 간단한 균형 문제입니다. 더 많은 열이 필요하다면, 안전을 위해 더 강력한 냉각 시스템이 필요합니다.
클린룸에 적합한 설계
우리는 조립 과정에서 사용되는 재료에 매우 신경을 씁니다. 접착제는 사용하지 않으며, 고온에서 가스가 발생하는 재료도 사용하지 않습니다.
또한, 아크 현상을 방지하기 위해 특수한 연결 부품을 사용합니다. 아크 현상은 국부적인 과열과 램프 파손의 원인이 됩니다. 석영의 물리적 특성과 열 한계를 고려함으로써, 우리는 공정 중 발생할 수 있는 위험을 최소화합니다.
이제는 열이 안정적으로 유지되고 웨이퍼가 안전하다는 것을 알고 있으니, 생산 효율에만 집중하면 됩니다.