ウェーハ処理装置用温度センサー

化学的に不安定な物質を赤外線ヒーターと一緒に使用するのは、明らかに危険な行為です。つまり、プロセスの途中で発火のリスクが高くなってしまいます。 私たちはこの問題を解決する方法を見つけました。すべてが露出しているような設計の代わりに、全体を密閉した構造にしています。 安全を実現する方法 通常の赤外線...