در کارخانههای تولید فرآیندهای لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۱ درجه سانتیگراد در طول فرآیند گرم کردن مواد فوتورزیست، نشانهای از انحرافات جزئی نیست. این انحرافات منجر به افزایش پهنای خطوط، تولید ذرات ناخواسته و هدر رفتن مواد میشود. گرمایش با استفاده از امواج مادون قرمز میتواند دقیق باشد، اما تنها در صورتی که ولتاژ ورودی به منبع امواج مادون قرمز به اندازه کافی پایدار باشد تا بتوان از تغییرات دمایی جلوگیری کرد. ما تنظیمکننده ولتاژ مخصوص امواج مادون قرمز را به گونهای طراحی کردهایم که بتواند این محدودیتها را برطرف کند.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ هدف ما، داشتن یکنواختی دمایی در سراسر ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، است؛ برای این منظور، توان ورودی امواج مادون قرمز باید در محدودههای دقیقی نگه داشته شود تا تغییرات ناشی از خطوط، دمای اوج را تحت تأثیر قرار ندهند. این تنظیمکننده، سازگار با محیطهای پاکسازی شده با سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ مواد و روکشهای استفاده شده نیز باعث میشوند تولید ذرات ناخواسته به حداقل برسد. الگوهای گرم کردن نرم و سخت نیز قابل تکرار هستند؛ زیرا کنترلکننده، تغییرات ولتاژ را قبل از رسیدن آنها به منبع امواج مادون قرمز جبران میکند. میتوان از این دستگاهها ۲۴ ساعته و بدون انحرافات دمایی زیاد استفاده کرد؛ دستگاهها تا ۵٬۰۰۰ ساعت کار کردهاند و کاهش توان خروجی آنها کمتر از ۵٪ بوده است.
در کارخانههای لیتوگرافی، زمان چرخه کاری، بازدهی و سطح پاکیزگی اهمیت زیادی دارند. ولتاژ پایدار امواج مادون قرمز، باعث کاهش کارهای تکراری ناشی از عدم یکنواختی دما میشود؛ همچنین به حفظ ابعاد کلیدی دستگاه کمک میکند. این روش همچنین انرژی هدررفته را کاهش میدهد؛ زیرا از افزایش بیش از حد ولتاژ جلوگیری میکند. همچنین، این روش نگهداری دستگاه را سادهتر میکند؛ زیرا از منابع امواج مادون قرمز در برابر فشارهای ولتاژی محافظت میکند.
جزئیات عملیاتی این دستگاهها به شرح زیر است: تنظیمکننده باید با نوع منبع امواج مادون قرمز – چه موج کوتاه، چه موج متوسط، چه الیاف کربنی – سازگار باشد؛ همچنین، ابعاد کانکتورها و قطعات متصله باید با رابطات دستگاه هماهنگ باشد. راهاندازی این دستگاهها سریع است؛ کافی است پاسخ PID را متناسب با جرم حرارتی صفحه گرمکننده یا فر امواج مادون قرمز تنظیم کنید. در محیطهایی با رطوبت بالا، باید از تشکیل رطوبت در اطراف دستگاه جلوگیری کرد تا استحکام آن در بلندمدت حفظ شود.