حفظ ایمنی در هنگام فرآیند تثبیت ویفرها در مناطق شیمیایی
برای فرآیند تثبیت ویفرها، نیاز به گرمای زیادی وجود دارد؛ اما وقتی که لامپها را درست کنار ایستگاههای شویندگی شیمیایی قرار میدهیم، مشکلاتی پیش میآید. بخارات فرار در همه جا وجود دارند، و آخرین چیزی که میخواهیم این است که یک جرقه باعث شود محل کارمان به یک خمره آتش تبدیل شود.
به همین دلیل، ما بر موضوع درزبندی و عایقبندی تأکید زیادی داریم. این کار فقط برای جلوگیری از گرما نیست؛ بلکه برای اطمینان از این است که گرما دقیقاً در جایی باقی بماند که باید باشد.
جلوگیری از خطرات
قرار دادن لامپها در اتاقهای پر از مواد شیمیایی قابل اشتعال، در واقع یک فاجعه در حال رخ دادن است. ما چنین ریسکی را نمیپذیریم.
در عوض، از روشهای درزبندی کامل برای جداسازی ترمینالهای الکتریکی از هوا استفاده میکنیم. از جوشکاری برای اتصال نقاط مختلف استفاده میکنیم و از فنرهایی استفاده میکنیم که در برابر بخارات خورنده مقاوم باشند. این کار مانع از نفوذ مواد شیمیایی به سیستم و ایجاد مشکلات الکتریکی میشود.
یک نکته مهم: حتماً مطمئن شوید که سیستم شما به زمین متصل است. انباشت الکتریسیته ساکن، یک خطر بزرگ در این مناطق است؛ بنابراین این مرحله را فراموش نکنید.
رساندن گرما به جای مناسب
اگر از بازتابندههای مناسبی استفاده نکنید، نیمی از انرژی لامپها هدر خواهد رفت.
ما از بازتابندههای آلومینیومی یا طلاکوب شده برای بازتاب تشعشعات مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود گرما دقیقاً روی ویفرها تمرکز کند و سایر بخشهای سیستم از گرمای زیاد در امان بمانند.
مراقب بازتابندهها باشید؛ اگر دچار خراشیدگی شوند یا از محل خود خارج شوند، «نقاط سرد» روی ویفرها ایجاد خواهد شد و فرآیند تثبیت ویفرها به درستی انجام نخواهد شد.
تعادل بین گرما و ایمنی
مشکل اینجاست که لامپهای با توان بالا، گرمای بسیار زیادی تولید میکنند.
در حالی که درزبندی مانع از انفجار میشود، اما گرما را نیز در اطراف لامپ نگه میدارد. نمیتوانیم فقط لامپها را روشن کنیم و فراموششان کنیم؛ باید از فنهای مناسب یا سیستمهای خنککننده برای خارج کردن گرما استفاده کنیم.
اگر اجازه دهیم گرما بیش از حد افزایش یابد، درزبندیها در نهایت خراب خواهند شد و ایمنی سیستم از بین خواهد رفت. من همیشه توصیه میکنم که هر شش ماه یک بار درزبندیها را بررسی کنید. این کار چند دقیقه زمان میبرد، اما بهتر از خرابی کامل سیستم و توقف کار برای یک هفته است.