دیگر نگران پاره شدن لامپها در خط تولید نیمههادیهایتان نباشید!
بیایید صادق باشیم: وقتی که یک لامپ مادون قرمز در حین فرآیند تولید با بار سنگین، منفجر میشود، این وضعیت واقعاً فاجعهبار است. مسئله فقط توقف دستگاه نیست؛ بلکه آشفتگی ناشی از شکستن لامپ نیز وجود دارد. تکههای شیشه و گاز هالوژن میتوانند به ویفرهای شما آسیب برسانند.
حتی یک ترک کوچک نیز میتواند باعث آلودگی کامل ویفرها شود. به همین دلیل است که سیستمهای ما را به این شکل طراحی کردهایم.
کنترل آشفتگی
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده میتواند شوک ناشی از گرم شدن و سرد شدن سریع را تحمل کند. اما ما فقط به کوارتز تکیه نمیکنیم؛ لامپها را در غلافهای محافظ قرار میدهیم. اگر لامپی منفجر شود، این غلافها تکههای شیشه را جذب میکنند؛ در نتیجه ویفرهای شما تمیز باقی میمانند و نیازی نیست کل محموله را دور بیندازید.
کنترل گرما
لامپهایی که توان بالایی دارند، بسیار گرم میشوند. اگر نقطه گرمای بالایی در لامپ وجود داشته باشد، فقط مسئله زمان است تا لامپ منفجر شود. برای جلوگیری از این امر، ما محدودیتهای مربوط به فیلامنت لامپ را کنترل میکنیم و سیلهای مربوط به الکترودها را تقویت میکنیم تا از نشت گاز جلوگیری شود.
نکته مهمی که باید در نظر داشته باشید، سیستمهای خنککننده است؛ اگر جریان هوا کاهش یابد، بدنه دستگاه گرم میشود و کوارتز نیز ناپایدار میشود. این یک تعادل ساده است؛ اگر میخواهید گرمای بیشتری داشته باشید، باید سیستم خنککننده قویتری داشته باشید تا از آسیب به لامپ جلوگیری شود.
ساختار مناسب برای اتاقهای پاک
ما بسیار دقت میکنیم که چه چیزهایی وارد سیستم میشوند؛ هیچ چسبی استفاده نمیشود، و هیچ مادهای که در دمای بالا گاز تولید کند، به کار نمیرود.
حتی کانکتورها را نیز با دقت انتخاب میکنیم تا از ایجاد ارتعاشات جلوگیری شود؛ زیرا این امر میتواند منجر به گرم شدن بیش از حد لامپ و پاره شدن آن شود. با توجه به محدودیتهای گرمایی کوارتز، ما ریسکهای مربوط به فرآیند تولید را کاهش میدهیم.
شما میتوانید فقط روی بازدهی تولیدتان تمرکز کنید؛ چون میدانید که گرمای تولید یکنواخت است و ویفرهای شما در امان هستند.