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In der Fertigungshalle ist eine Schwankung von 1°C während des Trocknungsprozesses des Photoresists keine „kleine Abweichung“. Solche Schwankungen...

Auf dem Lithografieboden ist Softbake kein Aufwärmprogramm. Es ist der Schritt, der das Lösungsmittelprofil des Photoresists festlegt, die Filmdicke...