http://warm-ir-heater-eco.com/zh/tags/mems/ Recent content in MEMS on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo zh Mon, 27 Jul 2026 17:04:12 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/zh/posts/reducing-equipment-wall-heat-in-mems-wafer-drying-via-directional-ir-heating/ Mon, 27 Jul 2026 17:04:12 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/zh/posts/reducing-equipment-wall-heat-in-mems-wafer-drying-via-directional-ir-heating/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>停止加热机器，开始让晶圆干燥吧。<br> 如果你们曾经从事过MEMS制造工作，那么一定知道让晶圆干燥有多么困难。因为总会有各种残留物阻碍这一过程。</p> <p>传统的加热方式——使用普通的对流式烤箱——其实效率很低。因为这样会使得整个腔室都处于高温状态，这不仅浪费能源，还会让昂贵设备的表面变成巨大的散热器。有时候，设备表面的温度甚至高到足以烫伤人。</p>