用于晶圆的精密红外传感器

Sun, 19 Jul 2026 10:19:00 +0800

利用精准的红外加热技术减少晶圆加工过程中的碳排放
如果您在半导体制造领域工作过，就会知道精确的温度控制至关重要。长期以来，我们一直依赖那些大型电阻炉来进行产品的固化与退火处理，但说实话，这些设备非常耗能。如果我们真想实现碳中和的目标，就必须停止这种浪费能源的行为。
这时，红外加热灯就派上用场了。
其工作原理
传统烤箱的工作方式是：先加热空气，再让空气加热整个炉腔，最后由炉腔来加热晶圆。这种方式效率很低。而红外加热则不同——它直接用辐射能量来加热晶圆表面。通过直接 targeting 晶圆，而不需要加热整个炉腔，不仅可以节省时间，还能大幅降低每批产品所需的能耗。这样一来，碳足迹自然也就减少了。这显然是个合理的解决方案。
关键在于反馈机制
当然，单凭红外加热灯本身并不足以解决问题。它的效果取决于控制它的系统。我们会使用精密的红外传感器来实时监测晶圆表面的温度。这些传感器会与PID控制器相连，后者会根据实际温度自动调整加热功率。如果晶圆的温度上升速度过快，系统会立即降低加热功率，从而避免过度加热的情况发生。
当然，也有其弊端
高强度的红外加热灯虽然能产生极高的热量，但这也意味着其使用寿命会缩短。此外，如此高的热量会对灯体造成很大压力，因此必须确保冷却系统能够正常工作。如果冷却系统不够完善，那么加热灯可能会提前损坏，或者传感器的精度也会下降。这就需要找到一个平衡点。
对“绿色工厂”的好处
当不再使用整体加热方式后，设备的空载能耗就会大幅下降。因为现在只需要加热产品本身，而不必加热整个房间。最棒的是，对于大多数现有的加热系统来说，这种更换方案相当简单。只要电源系统能够承受这种切换负荷，就可以实现这一目标，而无需对整个生产线进行大规模改造。

用于制造红外技术的电压调节器

Sat, 20 Jun 2026 02:42:26 +0800

在芯片制造工厂中，光刻胶烘烤过程中1°C的温度波动其实并非“微小的偏差”。这种偏差会导致线路宽度的变化、表面瑕疵以及废品产生。红外加热虽然能够实现精确控温，但前提是供给红外源的电压必须足够稳定，这样才能保持恒定的温度。我们设计的红外电压调节器正是为了满足这一要求而制造的。

从技术角度来说，关键点在于： 我们需要确保整个晶圆上的有效温度均匀性在±0.1°C范围内，这就需要将红外光源的输入功率控制在严格的范围内，从而避免因温度波动而导致的峰值温度变化。该调节器适用于1级到100级的洁净室环境，其材质和表面处理方式可以最大限度地减少颗粒物的生成。由于控制器能够在电压波动发生之前就对其进行补偿，因此无论是软烘烤还是硬烘烤过程都能保持一致性。这样的装置可以实现24/7连续运行，且温度漂移极小，使用寿命可达到5,000小时以上，同时输出功率的下降幅度也低于5%。

红外光 on Eco-Friendly Warm IR Heaters

用于晶圆的精密红外传感器

用于制造红外技术的电压调节器