http://warm-ir-heater-eco.com/zh/tags/%E6%9F%94%E8%BD%AF%E7%9A%84%E6%B8%A9%E5%92%8C%E7%9A%84/ Recent content in 柔软的；温和的 on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo zh Sun, 31 May 2026 02:55:23 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/zh/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sun, 31 May 2026 02:55:23 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/zh/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="光刻胶软烤温度红外"></p> <p>在光刻车间，软烘不是简单的预热环节。它是设定光刻胶溶剂分布、锁定膜厚并定义尺寸公差的关键步骤，这些参数会直接影响曝光和显影过程。当烘烤不均匀时，结果不会只是轻微漂移，而是线宽变化、侧壁基脚缺陷，以及直接影响关键参数测试的良率下降。</p>