Máy sấy wafer cảm biến MEMS
Hãy ngừng việc làm nóng máy móc lại, và bắt đầu quá trình sấy khô wafer thôi. Nếu bạn từng làm việc trong lĩnh vực chế tạo MEMS, chắc hẳn bạn hiểu rõ...
Đèn sấy bán dẫn hữu cơ
Trên tầng lithography, không có nhiều khoảng trống giữa soft bake và hard bake. Chênh lệch nửa độ có thể làm thay đổi độ dày photoresist, dịch chuyển...