Bộ sưởi hỗ trợ hệ thống cryogenic

Sun, 28 Jun 2026 02:11:53 +0800

Trong quy trình sản xuất, việc duy trì độ ổn định về nhiệt độ không phải là điều khả thi mà là yêu cầu bắt buộc. Trong quá trình sấy wafer và xử lý chất phủ quang học, ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ vài chục phần trăm độ cũng có thể khiến các kích thước quan trọng của wafer thay đổi, tạo ra các tạp chất hoặc gây ra các khiếm khuyết trên bề mặt wafer. Chúng tôi đã thiết kế các bộ sưởi để duy trì độ ổn định nhiệt độ ở vị trí mà wafer tiếp xúc với các thiết bị xử lý.

Đèn hồng ngoại có hỗ trợ molypđen

Sat, 06 Jun 2026 01:44:27 +0800

Trên mặt phẳng wafer, việc nướng photoresist không chỉ là một bước nhiệt độ—mà còn là một hợp đồng nhiệt. Sự trôi 1°C trong quá trình nướng mềm hoặc nướng cứng sẽ làm thay đổi kích thước quan trọng và ảnh hưởng đến năng suất sản xuất. Chúng tôi đã xây dựng đèn hồng ngoại hỗ trợ molybdenum để giữ cho đường nhiệt ổn định, qua từng chu kỳ.

Những điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Bộ phát hoạt động ở sóng hồng ngoại ngắn để gia nhiệt nhanh, có hướng mà vẫn nằm trong ngân sách nhiệt của photoresist. Cấu trúc hỗ trợ molybdenum giữ sự ổn định ở nhiệt độ cao với lượng khí thải thấp, do đó số lượng hạt bụi vẫn giữ ở mức thấp ngay cả trong các phòng sạch Class 1–100. Hệ thống này nhắm đến sự đồng nhất ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C trên bề mặt nướng, và độ lặp lại được chỉ định để giữ điểm thiết lập luôn chặt chẽ. Đầu ra giữ ổn định trong các chu kỳ dài—các đơn vị thực địa đã tích lũy hơn 5,000 giờ với mức giảm dưới 5%.

Hỗ Trợ on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Bộ sưởi hỗ trợ hệ thống cryogenic

Đèn hồng ngoại có hỗ trợ molypđen